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上海伯東德國(guó) , 內(nèi)置兩個(gè)傳感器, 測(cè)量范圍 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蝕, 堅(jiān)固耐用, PKR 251 作為標(biāo)準(zhǔn)配件廣泛應(yīng)用于各類真空設(shè)備中.
應(yīng)用于6寸碳化硅外延爐
上海伯東某客戶生產(chǎn) SIC 薄膜器件肖特基二極管和新能源汽車的 IGBT 器件. 選用 測(cè)量 6寸碳化硅外延爐設(shè)備中的石英真空腔室的真空度. 經(jīng)過(guò)實(shí)踐認(rèn)證, 完 全符合工藝要求.
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技術(shù)參數(shù)
|
型號(hào) |
接口 |
測(cè)量范圍 |
最 大壓力 |
準(zhǔn)確度 |
可重復(fù)性 |
輸出信號(hào)（測(cè)量信號(hào)） |
電源電壓 |
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PKR 251 |
DN25 ISO-KF |
5X10-9 至 1000 hPa |
10000 hPa, |
在 1X 10-8 至 100 hPa 范圍內(nèi)約為 ± 30 % |
在 1 X 10-8 至 100 hPa 范圍內(nèi)約為 ± 5 % |
電壓范圍 |
在真空計(jì)處 |
上海伯東 德國(guó)產(chǎn)品授權(quán)代理商, 銷售維修普發(fā) Pfeiffer 真空產(chǎn)品 20余年. 可協(xié)助客戶選型并提供完善的售后維修服務(wù). 擁有100% 原裝進(jìn)口維修設(shè)備和備品配件, 提供快速維修服務(wù).
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