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真空泵系統(tǒng)可以根據(jù)不同的分類標準進行分類。以下是幾個常見的真空泵系統(tǒng)分類：
1. 根據(jù)工作原理分類：
- 機械泵：如旋片泵、渦輪分子泵、離心泵等，通過機械運動來抽取氣體。
- 污染物泵：如吸附泵、吸收泵等，利用化學吸附或吸收過程來移除氣體。
2. 根據(jù)最終真空度分類：
- 低真空系統(tǒng)：真空度范圍在1 Torr（133 Pa）到10^-3 Torr（0.1 Pa）之間。
- 中真空系統(tǒng)：真空度范圍在10^-3 Torr（0.1 Pa）到10^-6 Torr（10^-4 Pa）之間。
- 高真空系統(tǒng)：真空度范圍在10^-6 Torr（10^-4 Pa）到10^-9 Torr（10^-7 Pa）之間。
- 極高真空系統(tǒng)：真空度范圍在10^-9 Torr（10^-7 Pa）以下。
3. 根據(jù)應用領域分類：
- 工業(yè)真空系統(tǒng)：應用于工業(yè)生產(chǎn)過程中的真空處理，如真空干燥、真空冷凍、真空包裝等。
- 科學研究真空系統(tǒng)：應用于科學實驗和研究領域，如材料科學、物理學、化學等。
- 半導體制造真空系統(tǒng)：用于半導體工業(yè)中的真空處理，如薄膜沉積、離子注入、清潔工藝等。
4. 根據(jù)泵的連接方式分類：
- 單泵系統(tǒng)：由單個真空泵組成，可以滿足特定的抽取需求。
- 多級泵系統(tǒng)：由多個真空泵串聯(lián)或并聯(lián)組成，以實現(xiàn)更高的真空度或更大的抽取速度。
這些分類僅是對真空泵系統(tǒng)進行一般性的劃分，實際的分類可能更加復雜，并根據(jù)具體的應用和技術要求而有所不同。 http://www.zshaitai.com/