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機(jī)器人五金連接件的鉻膜厚度達(dá)不到, 表面不致密, 薄膜吸附儀不夠, 將影響機(jī)器人連接件力學(xué)性能, 還有表面耐磨性能, 因此某國內(nèi)機(jī)器人五金連接件制造商為了獲得更優(yōu)的連接件鉻膜, 采用伯東 KRI 聚焦型考夫曼離子源 KDC 100 輔助鍍制五金連接件鉻膜.
伯東美國 KRI KDC 100 技術(shù)參數(shù)：
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離子源型號 |
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Discharge |
DC 熱離子 |
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離子束流 |
>400 mA |
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離子動能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
12 cm Φ |
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離子束 |
聚焦 |
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流量 |
2-20 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長度 |
23.5 cm |
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直徑 |
19.4 cm |
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中和器 |
燈絲 |
* 可選: 可調(diào)角度的支架
推薦理由:
使用 KRI 聚焦型 KDC 100可一方面可以增加束流密度, 提高濺射率; 另一方面減小離子束的散射面積, 減少散射的離子濺射在靶材以外的地方引起污染.
在鍍制鉻膜的過程中, 其鍍鉻的真空容器要求漏率不超過10-8Pa m3/s, 為了保證客戶鍍鉻真空容器的漏率, 伯東工程師給客戶推薦
其技術(shù)參數(shù)特點(diǎn)如下:
1. 前級泵 抽速 15 m3/h
2. 分子泵 Splitflow 50 對氦抽速 2.5 l/s
3. 測漏精度:
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s
4. 移動式操作面板（有線、無線）
5. 集成SD卡, 方便數(shù)據(jù)處理
6. 抗破大氣、抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險性
7. 豐富的可選配件, 如吸槍、遙控器、小推車、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
運(yùn)行結(jié)果:
1. 使用KRI 聚焦型 KDC 100輔助鍍制五金連接件鉻膜后, 鍍制的鉻膜品質(zhì)更好, 厚度更均勻, 表面更致密, 薄膜吸附儀更強(qiáng)
2. 有效保證了鍍鉻真空容器的真空度
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