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真空熱處理是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態(tài)下進行的，真空熱處理可以實現(xiàn)幾乎所有的常規(guī)熱處理所能涉及的熱處理工藝，但熱處理質(zhì)量大大提高。
因為金屬工件的加熱、冷卻等操作，需要十幾個甚至幾十個動作來完成。這些動作內(nèi)在真空熱處理爐內(nèi)進行，操作人員無法接近，因此對真空熱處理電爐的自動化程度的要求較高。同時，有些動作，如加熱保溫結(jié)束后，金屬工件進行淬火工序須六、七個動作并且要在15秒鐘以內(nèi)完成。這樣敏捷的條件來完成許多動作，很容易造成操作人員的緊張而構(gòu)成誤操作。因此，只有較高的自動化才能準確、及時按程序協(xié)調(diào)。金屬零件進行真空熱處理均在密閉的真空爐內(nèi)進行，嚴格的真空密封眾所周知。
因此，獲得和堅持爐子原定的漏氣率，保證真空爐的工作真空度，對確保零件真空熱處理的質(zhì)量有著非常主要的意義。所以真空熱處理爐的一個關(guān)鍵問題，就是要有可靠的真空密封構(gòu)造。為了保證真空爐的真空性能，真空熱處理爐結(jié)構(gòu)設(shè)計中必須道循一個基本原則，就是爐體要采用氣密焊接，同時在爐體上盡量少開或者不開孔，少采用或者避免采用動密封結(jié)構(gòu)，以盡量減少真空泄露的機遇。
安裝在真空爐體上的部件、附件等如水冷電極、熱電偶導出裝置也都必須設(shè)計密封構(gòu)造。大部分加熱與隔熱材料只能在真空狀態(tài)下使用。真空熱處理爐的加熱與隔熱襯料是在真空與高溫下工作的，因而對這些材料提出了耐高溫，輻射成果好，導熱系數(shù)小等要求。對抗氧化性能要求不高。所以，真空熱處理爐廣泛采用了鉭、鎢、鉬和石墨等作加熱與隔熱構(gòu)料。這些材料在大氣狀態(tài)下極易氧化，因此，普通熱處理爐不能采用這些加熱與隔熱材料。
水冷裝置：真空熱處理爐的爐殼、爐蓋、電熱元件、水冷電極、中間真空隔熱門等部件，均在真空、受熱狀態(tài)下工作。在這種極為不利的條件下工作，必須保證各部件的結(jié)構(gòu)不變形、不損壞，真空密封圈不過熱、不燒毀。因此，各部件應該根據(jù)不同的情況設(shè)置水冷裝置，以保證真空熱處理爐能夠正常運行并有足夠的利用壽命。
采用低電壓大電流：真空容器內(nèi)，當真空空度為幾托一lxlo-1托的范圍內(nèi)時，真空容器內(nèi)的通電導體在較高的電壓下，會產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。在真空熱處理爐內(nèi)，嚴重的弧光放電 會燒毀電熱元件、隔熱層等，造成重大事故和損失。因此，真空熱處理爐的電熱元件的工作電壓一般都不超過80一100伏。同時在電熱元件結(jié)構(gòu)設(shè)計時要采取有效辦法，如盡量避免有的部件，電極間的間距不能太小，以防止輝光放電或者弧光放電的產(chǎn)生。 http:///