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真空系統(tǒng)是由真空泵、PLC程序控制系統(tǒng)、儲(chǔ)氣罐、真空管道、真空閥門、境外過濾總成等組成的成套真空系統(tǒng)。目前，該系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體業(yè)、光電背光模組、機(jī)械加工等行業(yè)。購買真空泵到蘭佳真空泵廠家直銷店！
對(duì)于如何有效的降低真空系統(tǒng)漏氣率這個(gè)問題，真空泵廠家有話說，首先來了解什么是真空系統(tǒng)，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)。
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu):
真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)是影響真空系統(tǒng)密封性和系統(tǒng)漏氣率的關(guān)鍵，真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)合理與否，將直接影響系統(tǒng)的密封性和系統(tǒng)的漏氣率。
1、盡可能地避免出現(xiàn)小曲率半徑的死角，要光滑過渡查剎于打麈拋光、清洗清掃。
2、抽空管道、送氣管道等與真空室相連接的管道，采用圓弧過渡，使氣路暢通無阻，但要考慮清洗清掃的方便性。
3、認(rèn)真設(shè)計(jì)真空室內(nèi)各種連接件的結(jié)構(gòu)，使氣路暢通，避免氣路堵塞。
4、打磨拋光真空系統(tǒng)內(nèi)表面，表面越光亮就越不易氣體吸附，越容易獲得真空。
5、盡可能減小真空室的體積，縮短管路系統(tǒng)。
密封形式的選擇:
密封形式可根據(jù)所需真空度的高低及實(shí)際工作需要選擇密封形式，對(duì)于人工晶體生長(zhǎng)設(shè)備，一般需要的真空度在lO-3Pa以下，因此，無需采用金屬密封。以TDR--70型單晶爐為例，我們選擇磁性流體密封作為旋轉(zhuǎn)動(dòng)密封，選擇高精度大伸縮量的焊接波紋管進(jìn)行移動(dòng)密封，小直徑軸的旋轉(zhuǎn)密封選用“O”型密封圈或威爾遜密封，各種靜密封則采用“0”型密封圈密封形式，直徑壓縮比為25％。
密封件材質(zhì)的選用：真空度在lO-3Pa以下的真空系統(tǒng)，密封材料一般選擇橡膠密封圈即可滿足要求。但是，考慮到實(shí)際工作條件的需要(真空室內(nèi)溫度可高達(dá)2300oC，密封部位進(jìn)行水冷后，其溫度在80oC左右，個(gè)別處溫度可達(dá)100oC以上)。所以，要選擇比較理想的密封圈材料。
用于真空密封橡膠材料，除要求具有光潔表面、無劃傷、無裂紋外，還要求有低的滲透率和出氣率，良好的耐熱性耐油性，同時(shí)要有一定的強(qiáng)度、硬度和彈性等。
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