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不同的真空系統(tǒng)要求的真空度不同，高真空一側(cè)能達(dá)到系統(tǒng)要求的真空度，而低真空一側(cè)是直排大氣的。
因此往往必須由一套真空機組來完成，但高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。一臺高真空泵和一臺低真空泵難于組成有效的高真空機組。這有幾方面的原因。高真空泵都有前級耐壓的限制，即前級高于某一壓力，泵就不能正常工作。而當(dāng)前級泵達(dá)到這一臨界壓力時，往往抽速會減小，這樣前級泵的排氣流量可能會小于主泵的排氣流量，這種流量的不一致破壞了流量連續(xù)性的要求，必然會引起真空機組不能正常工作。
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高真空機組往往需要三級機組的另一個原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。即由工作在不同壓力范圍的真空泵串接起來，泵都有起始工作壓強，特別是對于周期性抽氣的真空機組，對達(dá)到工作真空度的時間是有要求的，預(yù)抽時間越長，進入工作真空度的時間也越長，這樣可以使系統(tǒng)盡快地進入工作壓力，保證了設(shè)備的使用效率。對于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強前級泵的預(yù)抽能力，進一步縮短抽氣時間，由于預(yù)抽時間與整個排氣過程相比很短，所以前級泵的使用時間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實的。這就使規(guī)?；瘧?yīng)用的真空機組得到大大的簡化。
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