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真空聯(lián)機(jī)密封功能取決于聯(lián)接處的泄露和真空資料的放氣。對(duì)任何真空體系總期望漏、放氣量與密封方式、密封資料、加工精度及裝配質(zhì)量等許多要素有關(guān)，故在聯(lián)接處總會(huì)存在必定的漏、放氣量，因此可依據(jù)真空體系作業(yè)的性質(zhì)，真空室作業(yè)作業(yè)應(yīng)力的凹凸及其出口處抽氣速度的巨細(xì)提出要求。
真空體系中的壓力在高于10-5Pa真空規(guī)模內(nèi)廣泛運(yùn)用合成橡膠、環(huán)氧樹脂和塑料。當(dāng)真空度說到壓力10-7Pa的真空規(guī)模時(shí)，這些密封資料就不能用了，需求運(yùn)用超高真空的密封資料如金或銅作墊圈，而真空殼體不能用軟剛需求改用不銹鋼。
金屬纏繞墊片的超真空氣體內(nèi)的氣體狀況是動(dòng)態(tài)平衡狀況。體系內(nèi)的壓力極限，一方面與泵的有用抽速有關(guān)，另一方面與來自真空殼體及其內(nèi)部的零部件的氣流量有關(guān)。因雖有體系的有用抽速由于泵有結(jié)構(gòu)尺度和費(fèi)用的原因，總存在實(shí)踐約束。所以，削減氣流量就成為達(dá)到超高真空狀況的根本設(shè)計(jì)方針，成為挑選超高真空資料的首要原則。
作為真空體系內(nèi)部用的資料，要求飽滿蒸汽壓低，為了削減緩慢解吸和體出氣，要求能耐450℃高溫烘烤，而不降低機(jī)械強(qiáng)度和不發(fā)生化學(xué)和物理損害。作為真空體系殼體資料，要求能疏忽氣體浸透，接受得住大氣壓的壓力，烘烤期間耐空氣腐蝕和不發(fā)生漏氣。此外，要求選用資料，加工制造簡(jiǎn)單，價(jià)廉易得。
關(guān)于真空度低于10-7Pa的超高真空，雖然tr和合成橡膠是抱負(fù)的密封圈資料，彈性好，裝配成真空密封后法蘭螺栓受力很小，而且能夠?qū)掖沃貜?fù)運(yùn)用。但由于超高真空體系要求密封圈資料耐250℃烘烤，實(shí)踐上可可供選用的幾種橡膠資料都不能滿意要求。真空度更高(即壓力更低)的超高真空，則有必要選用金屬密封。
