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大粒徑硅溶膠膠粒具有龐大的比表面積(表面多介孔結構)和 的吸附能力以及較強的穩(wěn)定性和粘結性能，在化學機械拋光中可以形成堅固的膜，不容易發(fā)生龜裂，同時硅溶膠膠粒粒徑越大，硅溶膠附著在固體表面時的摩擦系數(shù)越大，從而改善了材料表面的耐磨性。且要求硅溶膠中無有機物，同時顆粒分散均勻，濃度要高，這是拋光硅溶膠的關鍵所在。