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無論是何種膜系結(jié)構(gòu), 玻璃基片表面的清潔程度和表面狀態(tài)將直接影響所鍍膜層的質(zhì)量, 如薄膜的附著力/ 粗糙度以及薄膜的物理性能與機械強度.
但在放置和傳輸過程中會對玻璃基片表面難以避免地出現(xiàn)不明污染物, 失去 "新鮮表面" 形成鈍化層, 甚至可視痕跡. 對于低輻射玻璃而言, 在瑕疵處生長的銀膜會在后續(xù)鋼化及熱彎過程中形成團聚, 導(dǎo)致透光性能與低輻射性能嚴(yán)重惡化, 鍍膜產(chǎn)品報廢,降低成品率.
因此, 國內(nèi)某玻璃制造商采用伯東 在玻璃基片傳輸后/ 鍍膜前進行在線基片表面處理工序.
KRI Gridless eH 3000 技術(shù)參數(shù):
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型號
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Cathode/Neutralizer |
HC |
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電壓 |
50-250V |
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電流 |
20A |
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散射角度 |
>45 |
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可充氣體 |
Ar, O2, N2, H2, organic precursors, others |
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氣體流量 |
5-100sccm |
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高度 |
6.0“ |
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直徑 |
9.7“ |
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水冷 |
可選 |
F = Filament; HC = Hollow Cathode; xO2 = Optimized for O2 current
該制造商采用 KRI Gridless eH 3000離子源解離 Ar 氣體,轟擊玻璃表面,對玻璃基片表面進行清洗和刻蝕.
推薦理由：
設(shè)備穩(wěn)定,抗污染能力強,可以進行基片表面清洗與輔助沉積, KRI Gridless eH 3000 對玻璃基片表面有效去除二次污染/ 增加基片表面能/ 控制基片表面粗糙度.
運行結(jié)果:
若您需要進一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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