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真空淬火，是指實現(xiàn)零件的光潔淬火。零件的淬火冷卻在真空爐內(nèi)進行，淬火介質(zhì)主要是氣(如惰性氣體)、水和真空淬火油等。真空淬火已大量應用于各種滲碳鋼、合金工具鋼、高速鋼和不銹鋼的淬火，以及各種時效合金、硬磁合金的固溶處理。
目前，真空熱處理高壓氣冷淬火技術發(fā)展迅速，出現(xiàn)了負壓高流量氣冷、加壓氣冷、高壓氣冷、超高壓氣冷等新技術，不僅大大提高了真空熱處冷淬火能力，而且具有工件表面光亮度好、變形小、效率高、節(jié)能、無污染等優(yōu)點。
真空熱處理高壓氣冷淬火的用途是材料的淬火和回火、不銹鋼和特殊合金的固溶、時效性、離子滲碳和碳氮共滲、真空熱處理燒結、釬焊后的冷卻和淬火。
用6×105Pa高壓氮氣冷卻淬火時，冷卻負載只能松散，高速鋼可淬透至70~100mm，高合金熱作模具鋼可達25~100mm；用10×105Pa高壓氮氣冷卻淬火時，冷卻負載可密集，比6×105Pa冷卻時高30%~4O%左右。
用20×105Pa超高壓氮氣或氦氣和氮氣混合氣冷卻淬火時，冷卻負載密集，可捆綁在一起，密度比6×105Pa氮氣冷卻時高80%~150%，可冷卻所有高速鋼、高合金鋼、熱作工模具鋼、Cr13%鉻鋼和更多合金油淬鋼，如大尺寸9Mn2V鋼。