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干式真空泵主要用于高純凈的真空工藝過程，真空度，因此可適應(yīng)惡劣工礦，可處理含可凝性蒸汽的氣體，含微小顆粒物的氣體。它具有低耗能、抽速大、使用壽命長、免維修、無需潤滑等特點(diǎn)，因此在石化、冶金、醫(yī)藥、生物工程、造紙、微電子工程等行業(yè)將全面替代技術(shù)含量低的真空設(shè)備。
干式真空泵由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、缸體、電機(jī)等主要零件組成。帶有旋片的轉(zhuǎn)子，偏心地安裝在定缸內(nèi)，當(dāng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)時(shí)，轉(zhuǎn)子槽內(nèi)四個(gè)徑向滑動(dòng)旋片將泵腔分隔成四個(gè)工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進(jìn)排出口分離開來，周而復(fù)始運(yùn)轉(zhuǎn)，進(jìn)行變?nèi)荩瑢⑽霘怏w，從排氣口排出，從而達(dá)到抽氣目的。
由于干式真空泵沒有真空介質(zhì)(真空泵油、水等)，通過干式真空泵的氣體未受真空介質(zhì)的污染。因而回收溶劑是潔凈的。這樣真空下冷凝部份轉(zhuǎn)換成常壓下冷凝，大大提高了溶劑類物料的回收率，對(duì)真空下難冷凝的物料特別有利。通過該流程配置，排放的尾氣中已基本不含有機(jī)廢氣。另外，泵排空氣體通過列管式冷凝器的殼程后，噪聲也大為下降。
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