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真空熱處理是真空技術(shù)與熱處理技術(shù)相結(jié)合的新型熱處理技術(shù)，真空熱處理所處的真空環(huán)境指的是低于一個(gè)大氣壓的氣氛環(huán)境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空，真空熱處理實(shí)際也屬于氣氛控制熱處理。
1． 真空爐處置鈦合金時(shí)，不宜用氮?dú)庾鳛槔鋮s氣體，由于鈦和氮在高溫下反響，構(gòu)成金黃色的氮化鈦。
2． 真空爐活動(dòng)銜接有些悉數(shù)選用O型橡膠圈密封銜接，此有些均通水冷卻。
3． 工件在真空狀態(tài)下淬火，應(yīng)運(yùn)用真空淬火油，此油具有較低的飽滿蒸氣壓。
4． 真空爐的保護(hù)應(yīng)在真空或充純氮狀態(tài)下，防止平常不用時(shí)吸氣，吸潮。
5． 國(guó)內(nèi)真空爐的壓升率應(yīng)不大于1.33Pa/h ，國(guó)外某些公司的規(guī)范為0.67Pa/h
6． 真空加熱以輻射為主，工件在爐內(nèi)大概堅(jiān)持距離。
7． 升溫過(guò)程中，工件及爐內(nèi)資料會(huì)放氣，使真空度降低。
8． 真空回火、真空退火、真空固溶處置及真空時(shí)效的加熱溫度通常與慣例處置時(shí)加熱溫度一樣。
9． 真空回火爐大概具有快冷設(shè)備。冷卻水的壓力大概大于0.2Mpa，流量應(yīng)可調(diào)。
10． 冷卻氣體：鋼通常選用百分之99.995純度的氮?dú)?，高溫合金選用百分之99.999的氮?dú)饣驓鍤?，鈦合金選用百分之99.995的氬氣。
11． 升溫：放入工件后，通常先預(yù)抽至6.67Pa時(shí)方可升溫加熱
