硅V型槽的簡介 經(jīng)過晶面tr解理構(gòu)成的V型槽側(cè)壁潤滑、線條筆直,水平距離精度高(小于0.5微米),無精細(xì)機(jī)械加工的累計誤差,十分適合于放置光纖并精細(xì)定位,能和光電子器材的距離嚴(yán)厲匹配,筆直方向在同一條高度上,大大減少了光電子器材和光纖耦合對準(zhǔn)的損耗。因?yàn)檫x用與微電子相似的微機(jī)械生產(chǎn)技能(MEMS技能),并行生產(chǎn)工藝保證了高品質(zhì)、大批量、低成本。