一種鋁或鋁合金與銅的真空擴(kuò)散焊接方法,涉及鋁銅的擴(kuò)散焊方法。要解決采用真空擴(kuò)散焊時(shí),由于鋁的化學(xué)性質(zhì)活潑極易在其表面形成致密的高熔點(diǎn)氧化膜,在鋁表面存在一層氧化膜,阻礙母材的潤濕和界面的結(jié)合,進(jìn)而降低了接頭的綜合性能的問題。
方法:首先清洗,然后將清洗后的鋁或鋁合金置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中,進(jìn)行沉積,得到表面氫化處理的鋁或鋁合金,再將表面氫化處理的鋁或鋁合金與清洗后的銅按待焊部位相對形式貼合,并置于真空釬焊爐中,進(jìn)行真空擴(kuò)散。其特征在于它是按照以下步驟進(jìn)行的:
一、將鋁或鋁合金的待焊部位機(jī)械清理,然后置于丙酮溶液中超聲清洗10min~30min,得到清洗后的鋁或鋁合金;將銅的待焊部位機(jī)械清理,然后置于丙酮溶液中超聲清洗10min~30min,得到清洗后的銅;
二、將清洗后的鋁或鋁合金置于等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中,抽真空至壓強(qiáng)為10?3Pa以下,以氣體流量為20sccm~60sccm通入氫氣,調(diào)節(jié)抽真空速度將等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中壓強(qiáng)控制為100Pa~300Pa,并在壓強(qiáng)為100Pa~300Pa和氫氣氣氛下將溫度升溫至為100℃~400℃;
三、升溫后,調(diào)節(jié)抽真空速度將等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積真空裝置中壓強(qiáng)控制為200Pa~400Pa,然后在沉積系統(tǒng)射頻功率為100W~200W、壓強(qiáng)為200Pa~400Pa和溫度為100℃~400℃條件下進(jìn)行沉積,沉積時(shí)間為2min~30min,沉積結(jié)束后,關(guān)閉射頻電源和加熱電源,即得到表面氫化處理的鋁或鋁合金;
四、將表面氫化處理的鋁或鋁合金與清洗后的銅按待焊部位相對形式貼合,得到貼合后的材料,將貼合后的材料置于真空釬焊爐中,關(guān)閉真空室,打開抽真空系統(tǒng),抽真空至壓強(qiáng)為10?3Pa~10?4Pa,開啟加熱系統(tǒng),將真空釬焊爐溫度升溫至400℃~600℃,然后對貼合后的材料施加1MPa~10MPa的壓力,然后在溫度為400℃~600℃下及壓力為1MPa~10MPa的條件下,保溫10min~60min,保溫后卸載壓力,關(guān)閉加熱系統(tǒng),在壓強(qiáng)為10?3Pa~10?4Pa的條件下,進(jìn)行隨爐冷卻至室溫,即完成鋁或鋁合金與銅的真空擴(kuò)散焊接方法
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