凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為潔凈室。按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非{bfb}沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負i面影響，所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。    

一次過濾液相捕獲： 旋轉式螺旋過濾器，將吸入的介質中的固體顆粒首先攔截下來。* 通過對較大固體、粉塵顆粒在前段進行徹底的攔截，大大地減輕了后端多級過濾的壓力。二次過濾氣相攔截：高壓碰撞離心分離攔截液相霧氣。* 高壓碰撞技術：氣溶膠 粒子被粗效過濾件收集，細小的顆粒有逐級濾材完成。* 離心分離攔截液相霧 氣：在氣流中由不同的工作件定向收集介質對象，不同的介質選用最合i適的過濾結構和材質。* 個性濾網(wǎng)攔截氣溶膠粒子：在氣流結構方面改良固有結構減少阻力提{gx}率。各風道口表面選用美國杜邦公司生產(chǎn)的F4進行處理，使機器過濾精度高壽命長。三次過濾真空吸霧：* 含有細小粉塵的各油霧經(jīng)第三級分離被收集后，經(jīng)后置活性炭過濾器能有效祛除異味和有害氣體，潔凈空氣在風機負壓的作用下，經(jīng)風機直接排入空氣中。

凈化設備可使用油霧分離器，油霧凈化器，油霧處理器，油霧收集器，油霧過濾器、袋式除塵器、無塵工作臺、初效/中/{gx}過濾器、cj過濾器、水蒸發(fā)空調(diào)機、水溫空調(diào)等。大致的工作原理為：當控制器接通電源時，油霧分離器口產(chǎn)生強大的靜壓迫使油霧被定向吸入油霧分離器內(nèi)。在油霧分離器內(nèi)風輪的作用下發(fā)生碰撞，使微小的顆粒集合成能被控制的小顆粒，在{gx}吸霧材料的阻擋下實現(xiàn)空氣與水的分離。