一、行業(yè)水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)：
我國(guó)電子工業(yè)部電子級(jí)水質(zhì)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)（18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級(jí)標(biāo)準(zhǔn)）、我國(guó)電子工業(yè)部水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)、美國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)用純水指標(biāo)、國(guó)內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
二、行業(yè)對(duì)水質(zhì)的要求：
光電材料生產(chǎn)、加工、清洗；LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高，對(duì)水質(zhì)的要求也越高，這也對(duì)工藝及產(chǎn)品的簡(jiǎn)易性、自動(dòng)化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴(yán)格的要求。
三、反滲透設(shè)備工藝流程
原水箱
儲(chǔ)存原水，設(shè)高、低水位控制。對(duì)系統(tǒng)的給水起調(diào)節(jié)作用，防止自來水給水不足的影響，同時(shí)也可對(duì)自來水中的雜質(zhì)起一定的沉淀作用。（如水壓過低或過高引起的壓力傳感的反應(yīng)）。
原水泵
提供預(yù)處理系統(tǒng)正常工作的動(dòng)力源，為保持后序設(shè)備的正常運(yùn)行，增加壓力。泵相應(yīng)設(shè)置高過熱保護(hù)器、壓力控制器，出現(xiàn)故障自動(dòng)報(bào)警。
多介質(zhì)過濾器
采用多次過濾層的過濾器，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)。而且還可以使水中的有機(jī)物質(zhì)、xj、病毒等隨著濁度的降低而被大量去除，并為濾后消毒創(chuàng)造了良好條件。經(jīng)過砂濾器原水濁度可降低至5mg/L以下。保證設(shè)備的產(chǎn)水質(zhì)量，延長(zhǎng)設(shè)備的使用壽命。
活性炭過濾器
利用活性碳的吸附能力有效地吸附原水中的有機(jī)物、游離性余氯、膠體、微粒、微生物、某些金屬離子及脫色等，使出水余氯含量＜0.1mg/L，所以被廣泛用于生活用水及食品工業(yè)、化工、電力等工業(yè)用水的凈化、脫氯、除油和去臭等。通常，經(jīng)過活性碳過濾的水能夠去除63%-86%的膠體物質(zhì)；50%左右的鐵以及47%-60%的有機(jī)物質(zhì)。
離子軟化系統(tǒng)
R/O裝置為了溶解固體形物的濃縮排放和淡水的利用，為防止?jié)馑颂貏e是RO裝置{zh1}一根膜組件濃水側(cè)出現(xiàn)CaCO3,MgCO3,MgSO4,CaSO4,BaSO4,SrSO4,SiSO4的濃度積大于其平衡溶解度常數(shù)而結(jié)晶析出，損壞膜原件的應(yīng)有特性，在進(jìn)入反滲透膜組件之前，應(yīng)使用離子軟化裝置或投放適量的阻垢劑阻止碳酸鹽，SiO2，硫酸鹽的晶體析出.
保安過濾器
采用保安過濾器對(duì)進(jìn)水中殘留的懸浮物、非曲直粒物及膠體等物質(zhì)去除，使RO系統(tǒng)等后續(xù)設(shè)備運(yùn)行g(shù)aq、更可靠。濾芯為5um熔噴濾芯，目的是把上級(jí)過濾單元漏掉的大于5um的雜質(zhì)除去。防止其進(jìn)入反滲透裝置損壞膜的表面，從而損壞膜的脫鹽性能。
反滲透系統(tǒng)
是一種反向遷移運(yùn)動(dòng)。是一種在壓力驅(qū)動(dòng)下，借助于半透膜的選擇截留作用將溶液中的溶質(zhì)與溶液分開的分離方法，它已廣泛應(yīng)用于各種液體的提純與濃縮，其中最普遍的應(yīng)用實(shí)例便函是在水處理工藝中。用反滲透技術(shù)將原水中的無機(jī)離子、xj、病毒、有機(jī)物及膠體等雜質(zhì)去除，以獲得高質(zhì)量的。通過反滲透裝置的水，可以達(dá)到國(guó)家飲用水標(biāo)準(zhǔn)。反滲透裝置脫鹽率≥99%，水回收率≥50%
四、應(yīng)用范圍：
半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路；
LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏；
高品質(zhì)顯像管、螢光粉生產(chǎn)；
半導(dǎo)體材料、晶元材料生產(chǎn)、加工、清洗；
超純材料和超純化學(xué)試劑、超純化工材料；
實(shí)驗(yàn)室和中試車間；
汽車、家電表面拋光處理；
光電產(chǎn)品；
其他高科技精微產(chǎn)品；
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