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在一個周期內(nèi)存在正電壓和負電壓兩個階段，在負電壓段，中山真空電鍍電源銷售電源工作于靶材的濺射，正電壓段，引入電子中和靶面累積的正電荷，并使表面清潔，裸露出金屬表面。
加在靶材上的脈沖電壓與一般磁控濺射相同!為400~500V,電源頻率在10~350KHz，在保證穩(wěn)定放電的前提下，應盡可能取較低的頻率#由于等離子體中的電子相對離子具有更高的能動性，雙脈沖磁控濺射電源因此正電壓值只需要是負電壓的10%~20%，就可以有效中和靶表面累積的正電荷。中山雙脈沖磁控濺射電源供應占空比的選擇在保證濺射時靶表面累積的電荷能在正電壓階段被wq中和的前提下，盡可能提高占空，以實現(xiàn)電源的{zd0}效率。