超精密研磨拋光加工技術(shù)可以獲得極高的面型精度
超精密研磨拋光加工技術(shù)是研磨行業(yè)的gd技術(shù),可以獲得極高的零件表面質(zhì)量,主要是獲得極高的面型精度(如平面度、平行度等)和無(wú)加工變質(zhì)層的表面現(xiàn)代高科技產(chǎn)品的制造,如單晶硅片、硬磁盤基片、壓電陶瓷換能器等均需要采用超精密平面研磨加工技術(shù),超精密平面研磨可分為四個(gè)基本組成部分一研磨盤、研磨液、磨粒和工件。研磨盤是精密研磨加工中的模具,其面型精度對(duì)被加工件的面型精度影響非常大,模具表面形貌能在一定程度上“復(fù)制”到工件表面上。拋光是利用柔性拋光工具和磨料顆?;蚱渌麙伖饨橘|(zhì)對(duì)工件表面進(jìn)行的修飾加工。拋光不能提高工件的尺寸精度或幾何形狀精度,而是以得到光滑表面或鏡面光澤為目的,通常作為精密加工的{zh1}一道工序。因?yàn)檠心ズ蛼伖獾脑砘疽恢拢ǔK褂玫募庸ぴO(shè)備也可通用,故經(jīng)常將研磨和拋光并提,稱為平面研磨拋光機(jī)。
超精密研磨拋光可以通過(guò)單盤單面研磨拋光或者雙面研磨拋光實(shí)現(xiàn)。雙面游離磨料研磨中工件在上下盤之間,研磨時(shí)上下表面被同時(shí)加工。單面拋光在對(duì)單面有平坦度要求,背面形狀復(fù)雜不易夾持或單平面基準(zhǔn)面及高平坦之鏡面加工要求時(shí);或薄易碎而沒有變形的情形下特別適用。單面游離磨料研磨拋光加工因其適應(yīng)面廣,仍然是應(yīng)用最廣泛的加工形式之一。
超精密研磨拋光當(dāng)前是指被加工零件的尺寸和形狀精度高于0.1,表面粗糙度Ra小于0.025,以及機(jī)床定位精度的分辨率和重復(fù)性高于0.01的加工技術(shù),目前已進(jìn)入納米級(jí)精度階段。超精密拋光{zd0}的特點(diǎn)是它不改變工件的面型精度.,只改善其表面粗糙度,超精密拋光可使工件的表面粗糙度值達(dá)到納米級(jí)甚至次納米級(jí)。超精密研磨{zd0}的特點(diǎn)是能獲得極高的面型精度,比如超精密平面研磨可以使工件的平面度達(dá)到十分之一甚至百分之一微米的水平。因此為使工件獲得高的面型精度,低的表面粗糙度,一般將超精密研磨技術(shù)和超精密拋光技術(shù)并提,稱為超精密平面研磨拋光技術(shù),取超精密研磨的高精度及超精密拋光的低表面粗糙度,從而加工出非常精密的零件。
目前,先進(jìn)光電子產(chǎn)品的制造正朝著高精度、高性能、高集成度和高可靠性的方向快速發(fā)展,帶來(lái)的對(duì)許多光電子產(chǎn)品部件表面的局部平面度及全局平面度提出的前所未有的高要求(如要求表面粗糙度達(dá)到亞納米量級(jí)),當(dāng)表面粗糙度達(dá)到亞納米量級(jí)時(shí),已與原子直徑(小于0.3nm)處于同一數(shù)量級(jí),已接近表面精加工的極限。深圳海德從事平面研磨拋光機(jī)設(shè)備的研發(fā)多年,深刻認(rèn)識(shí)到要獲得這么超鏡面的平面效果,細(xì)節(jié)非常重要,而完善的管理體系,認(rèn)真負(fù)責(zé)的工作態(tài)度是前提,深圳海德提倡用心鑄造每一個(gè)零件,用心體會(huì)每一個(gè)過(guò)程,鑄造精品服務(wù)磨界!
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