廣告
上海伯東提供適用于薄膜太陽能電池生產(chǎn)的和真空系統(tǒng)
沒有真空, 就不可能有可再生能源. 例如光伏發(fā)電 PV, 這是一種廣為人知的發(fā)電方法, 即利用太陽能電池, 通過光伏效應(yīng), 將來自太陽的能量轉(zhuǎn)換為電子流, 從而產(chǎn)生電能.
太陽能電池技術(shù)有多種類型, 主要技術(shù)之一是基于薄膜沉積. 該技術(shù)的主要優(yōu)勢是太陽能電池生產(chǎn)中的材料消耗低. 除諸如碲化鎘 CdTe 之類材料外, 銅銦鎵硒化物 CIGS 也經(jīng)常用于吸收層. 這些層可以沉積在玻璃等非柔性基板上, 或者金屬帶材或箔片等柔性基板上, 又或柔性薄玻璃上, 然后須將基板裝入一個(gè)大型真空室內(nèi). 在該真空腔室內(nèi)會進(jìn)行多種 PVD 工藝, 例如濺射或蒸發(fā), 以生成多層太陽能電池. 取決于不同工藝, 為了沉積這些層, 需要 10-3 至 10-6 hPa 范圍內(nèi)的真空. 由于表面積較大, 高抽速是必不可少的并且真空需要潔凈無碳, 以確保高品質(zhì)涂層.
薄膜沉積真空系統(tǒng)應(yīng)用要求
維護(hù)間隔長, 正常運(yùn)行時(shí)間延長
無碳真空
高抽速, 快速抽空
上海伯東推薦德國 泵典型配置
|
型號 |
|||
|
圖片 |
|
|
|
|
進(jìn)氣口 |
DN 250 ISO-F |
DN 250 ISO-F |
DN 160 ISO-F |
|
氮?dú)獬樗? |
1900 l/s |
2350 l/s |
2348 m3/h |
|
極限真空 |
1X10-7 mbar |
< 1X10-8 mbar |
1X10-2 mbar |
濺射或蒸發(fā)工藝要求
滿足多層膜的制備
維護(hù)間隔長
膜層致密, 不易脫落
通過使用上海伯東美國 可實(shí)現(xiàn)基板清潔和加速鍍膜材料的濺射速度, 并且在材料沉積過程中可幫助沉積并使沉積后的薄膜更為致密, 膜基附著力更好, 膜層不易脫落. 其中 RF 提供高能量, 低濃度的離子束, 離子源單次工藝時(shí)間更長, 適合多層膜的制備和離子濺鍍鍍膜工藝. 上海伯東是美國 中國總代理.
.jpg)
上海伯東美國 KRi RFICP 參數(shù):
|
型號 |
|
|
|
|
|
|
Discharge 陽極 |
RF 射頻 |
RF 射頻 |
RF 射頻 |
RF 射頻 |
RF 射頻 |
|
離子束流 |
>100 mA |
>350 mA |
>600 mA |
>800 mA |
>1500 mA |
|
離子動能 |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
4 cm Φ |
10 cm Φ |
14 cm Φ |
22 cm Φ |
38 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
|||
|
流量 |
3-10 sccm |
5-30 sccm |
5-30 sccm |
10-40 sccm |
15-50 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
||||
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
< 0.5m Torr |
|
長度 |
12.7 cm |
23.5 cm |
24.6 cm |
30 cm |
39 cm |
|
直徑 |
13.5 cm |
19.1 cm |
24.6 cm |
41 cm |
59 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
||||
薄膜沉積應(yīng)用于眾多零部件產(chǎn)品的生產(chǎn), 例如眼鏡, 手機(jī), 屏幕顯示器等. 一般通過物理 氣相沉積 PVD 或化學(xué)氣相沉積 CVD 實(shí)現(xiàn). 薄膜直接施加到零部件表面上, 總厚度小于 10 μm. 薄膜沉積需要在真空環(huán)境下進(jìn)行. 上海伯東提供德國 產(chǎn)品和美國 助力薄膜沉積工藝發(fā)展.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式：
上海伯東: 羅女士 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-03-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-03-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
上海伯東版權(quán)所有, 翻拷必究！
