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壓力傳感器芯片中的真空檢漏技術(shù):
壓力傳感器是一種堅(jiān)固耐用的直接介質(zhì)壓力監(jiān)測解決方案，專為當(dāng)今最嚴(yán)苛的壓力傳感環(huán)境而設(shè)計(jì)，可應(yīng)用于工業(yè)（HVAC系統(tǒng)、工業(yè)自動化、過程監(jiān)控、水位和壓力監(jiān)測等）、汽車（變速箱油壓、燃油系統(tǒng)壓力等）、醫(yī)療（診斷和分析設(shè)備）等領(lǐng)域。因?yàn)樘厥舛鴩?yán)苛的工作環(huán)境，傳統(tǒng)的壓力傳感器包括電路分析、材料分析和無源器件分析等，即包括MEMS芯片、ASIC芯片、電容、電阻、陶瓷PCB、塑封蓋、金屬套管等，這些元器件通過焊接工藝封裝到一起，這就要求壓力傳感器的密封性高，在使用過程中不會出現(xiàn)泄漏的問題，行業(yè)內(nèi)負(fù)壓法檢漏漏率是＜1E-10mbarl/s.
壓力傳感器芯片檢漏客戶案例:
上海伯東協(xié)助某新能源汽車客戶解決了如上測試要求, 測試流程如下：
1. 封裝好的芯片放在一個密封的腔體1內(nèi)，內(nèi)部充3Bar或者更高壓力的氦氣，保壓30min~1h
2. 把芯片從腔體1內(nèi)取出，用高純氮?dú)鈱Ξa(chǎn)品表面吹掃，吹掃后再放置到腔體2內(nèi)
3. 檢漏儀ASM 340W通過管路連接到腔體2，打開檢漏儀，設(shè)定檢漏儀報警精度為1E-10 mbarl/s，開始漏率測試
4. 測試過程中如果檢漏儀不報警，判定樣品符合漏率要求，如果檢漏儀報價，則判定檢漏儀不合格
鑒于信息保密，更詳細(xì)的壓力傳感器芯片方式歡迎致電 021-5046-1322
上海伯東氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
ASM 340 W |
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進(jìn)氣口法蘭 |
DN 25 ISO-KF |
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檢測氣體 |
氫氣和氦氣 |
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對氦氣 4He 的最小檢測漏率 |
真空模式: 1X10-12 mbar l/s 吸槍模式: 5X10-9 mbar l/s |
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檢測模式 |
真空模式 (負(fù)壓) 和吸槍模式 (正壓) |
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檢測氣體 |
4He, 3He, H2 |
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無校準(zhǔn)啟動時間 |
約 3 min |
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響應(yīng)時間 |
<1 s |
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Interface 接口 |
RS-232, 基本I/O, 現(xiàn)場總線選項(xiàng)和 USB |
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對氦氣的抽氣速度 |
2.5 l/s |
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進(jìn)氣口最 大壓力 |
25 mbar |
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前級泵抽速 |
油泵 15 m3/h |
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工作溫度 |
0-45°C (真空模式) |
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0-40 °C (吸槍模式) |
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電壓 |
100-110 V AC, 50/60 Hz |
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200-240 V AC, 50/60 Hz |
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功耗 |
850 W |
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重量 |
56 kg |
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尺寸 |
547x350x389 mm |
此檢漏系統(tǒng)核心部件是上海伯東代理德國 Pfeiffer ASM 340 . 上海伯東依據(jù)客戶實(shí)際需要協(xié)助設(shè)計(jì)壓力傳感器芯片檢漏并提供完善的售后維修服務(wù).
氦質(zhì)譜檢漏儀其余應(yīng)用:
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上海伯東德國 Pfeiffer普發(fā)檢漏儀ASM-340優(yōu)勢及應(yīng)用領(lǐng)域:
ASM 340 特性:
1. 前級泵可選油泵或干泵或不配前級泵, 滿足各類應(yīng)用
2. 高壓縮比分流式分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對氦氣抽速 2.5 l/s, 檢測時間短
3. 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 對氦氣的最小檢測漏率：
真空模式: 5E-13 Pa m3/s
吸槍模式: 5E-10 Pa m3/s 目前業(yè)界公認(rèn)漏律
4. 最 大的進(jìn)氣口壓力 25 hPa, 快速進(jìn)入檢漏模式
5. 觸摸式人機(jī)界面, 7英寸大屏幕高分辨率移動式操作面板, 易操作
6. Usb 端口, 方便數(shù)據(jù)傳輸
7. 抗破大氣, 抗震動, 降低由操作失誤帶來的風(fēng)險性
8. 豐富的可選配件, 如吸槍, 遙控器, 小推車, 旁路裝置, 標(biāo)準(zhǔn)漏孔等
ASM 340 應(yīng)用領(lǐng)域:
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上海伯東是德國 真空設(shè)備, 美國 考夫曼離子源, 美國 高低溫沖擊測試機(jī), 比利時原裝進(jìn)口 , 美國 Ambrell 和日本 離子蝕刻機(jī)等進(jìn)口知 名品牌的指定代理商 .我們真誠期待與您的合作!
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