光學(xué)鍍膜在我們生活中無(wú)處不在, 從精密及光學(xué)設(shè)備/ 顯示器設(shè)備到日常生活中的光學(xué)薄膜應(yīng)用; 比如說(shuō), 平時(shí)戴的眼鏡/ 數(shù)碼相機(jī)/ 各式家電用品, 或者是鈔票上的防偽技術(shù), 皆能被稱之為光學(xué)薄膜技術(shù)應(yīng)用之延伸. 倘若沒(méi)有光學(xué)薄膜技術(shù)作為發(fā)展基礎(chǔ), 近代光電/ 通訊或是鐳射技術(shù)將無(wú)法有所進(jìn)展, 這也顯示出光學(xué)薄膜技術(shù)研究發(fā)展的重要性.

為了提高薄膜的品質(zhì)，鍍膜制造商一般會(huì)采用離子源進(jìn)行輔助鍍膜, 如下圖

隨著對(duì)鍍膜品質(zhì)要求的不斷提升, 使用輔助鍍膜已經(jīng)無(wú)法滿足鍍膜應(yīng)用市場(chǎng), 國(guó)內(nèi)某知名 LED 制造商經(jīng)過(guò)我司推薦采用 RFICP 325 安裝在 DBR 生產(chǎn)設(shè)備 1650 mm 蒸鍍機(jī)中. 成功實(shí)現(xiàn)光學(xué)鏡頭鍍膜并通過(guò)脫膜測(cè)試!

上海伯東 KRI  RFICP 325客戶案例: 國(guó)內(nèi)某知名 LED 制造商
1. 應(yīng)用: LED-DBR 鍍膜生產(chǎn).
2. 系統(tǒng)功能: 1650 mm 尺寸電子槍蒸鍍鍍膜機(jī).
3. 離子源: 采用美國(guó) KRI  RFICP 325.  RFICP 325 提供的離子束 (不論是離子能量還是離子密度) 均是目前業(yè)界較高等級(jí),  RFICP 325 特殊的柵極設(shè)計(jì) E22 Grided 可以涵蓋 1650 mm 尺寸的蒸鍍機(jī)中大范圍的載具 substrate holder, 無(wú)論是生產(chǎn)良率或是均勻性都可達(dá)到高生產(chǎn)效能.
4. 功能: 通過(guò)射頻 RFICP 325 實(shí)現(xiàn)離子輔助鍍膜 IBAD 及預(yù)清潔 Pre-clean 功能后, 所生產(chǎn)出的 LED-DBR 無(wú)論是亮度測(cè)試, 脫膜測(cè)試, 頂針測(cè)試, 光學(xué)特性等等… 都優(yōu)于目前一般業(yè)界蒸鍍機(jī)所搭配的離子源.

上海伯東安裝案例: KRI RFICP 325 射頻安裝于 1650 mm 尺寸電子槍蒸鍍鍍膜機(jī).



KRI 測(cè)試案例: LED-DBR 脫膜測(cè)試.
1. 在高倍顯微鏡下檢視脫膜測(cè)試


2. 測(cè)試結(jié)果

--------- 使用其他品牌離子源---     --------------------- 使用美國(guó)考夫曼 KRI RFICP 325 離子源 ----------------------

從上圖可以清楚看出, 使用其他品牌離子源, 樣品存在崩邊的問(wèn)題; 使用上海伯東美國(guó)考夫曼離子源, 樣品無(wú)崩邊

伯東是德國(guó)  , , , , 美國(guó)  , 美國(guó)  , 美國(guó) Ambrell 和日本 NS 等進(jìn)口品牌的指定代理商.

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