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國(guó)內(nèi)某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置伯東美國(guó) HVA 11000 系列，尺寸以 4”, 6”, 8”閥門(mén)口徑為主的標(biāo)準(zhǔn)不銹鋼氣動(dòng)高真空閘閥,
HVA 不銹鋼 11000 系列標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)規(guī)格:
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閥門(mén)材質(zhì): |
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- 閥門(mén)主體 |
304 不銹鋼 |
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- 焊接波紋管軸封 |
AM - 350 |
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閥門(mén)密封方式 |
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- 高真空 |
氟橡膠 |
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- 超高真空 |
銅墊圈 / 氟橡膠 |
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真空: |
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- 壓力范圍 |
高真空 1x10-9 mbar, 超高真空 1x10-10 mbar |
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- 漏率 |
< 2x10-9 mbar l/S |
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- 差壓關(guān)閉 |
1 bar ( 任意位置 ) |
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- 開(kāi)啟前最，大壓力 |
≤ 30 mbar |
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烘烤溫度（不含電磁閥）: |
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- 彈性體密封閥蓋 |
150°C |
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- 金屬密封閥蓋 |
-開(kāi)啟溫度：200°C -關(guān)閉值：150°C |
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- 驅(qū)動(dòng)方式 |
手動(dòng) 60 °c, 氣動(dòng) 60 °c |
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機(jī)制 |
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手動(dòng)： |
手搖曲柄 |
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電磁閥供電電壓 |
120 VAC 50 /60 Hz |
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電磁閥可選電壓 |
24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
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電磁閥位置指示器,最，大 |
115 VAC |
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氣動(dòng)送風(fēng)： |
80 psig |
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使用壽命: 100,000 啟閉次數(shù) (具體視實(shí)際使用情況決定) |
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公稱通徑: DN 16 - 800 mm |
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下圖是某 OLED 鍍膜機(jī)廠家配置上海伯東美國(guó) HVA 高
OLED 鍍膜機(jī)主要面向有機(jī)半導(dǎo)體照明客戶, 需要鍍膜機(jī)性能更穩(wěn)定, 器件效率更高, 性價(jià)，比高,
對(duì)于生產(chǎn) OLED 鍍膜機(jī)的客戶, 為了節(jié)省抽空時(shí)間和防止基片的污染, 會(huì)選擇在 LOADLOCK 與主腔間進(jìn)行快速傳樣, 由于兩腔室工作的真空度要求不同, 會(huì)在腔室之間增加高真空閥門(mén)來(lái)隔離系統(tǒng).
伯東美國(guó) HVA 真空閥門(mén)已廣泛應(yīng)用于 OLED 鍍膜機(jī)
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