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電子元器件-繼電器在生產(chǎn)過(guò)程中由于手印、焊劑、交叉污染、自然氧化等, 其表面會(huì)形成各種玷污, 影響電子元器件在生產(chǎn)過(guò)程中的相關(guān)工藝質(zhì)量, 例如繼電器的接觸電阻, 從而降低了電子元器件的可靠性和成品合格率.
某制造商為了提高電子元器件-繼電器的可靠性和成品合格率, 采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 對(duì)繼電器進(jìn)行離子束清洗.
伯東 KRI考夫曼 RFICP140 技術(shù)參數(shù):
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型號(hào) |
RFICP 140 |
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Discharge |
RFICP 射頻 |
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離子束流 |
>600 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
14 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
5-30 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
24.6 cm |
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直徑 |
24.6 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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該制造商通入氬氣, 利用 KRI 考夫曼 RFICP140 電離氬氣產(chǎn)生氬離子, 形成氬離子束對(duì)樣品進(jìn)行轟擊, 以濺射刻蝕, 從而達(dá)到清洗的效果.
氬離子優(yōu)點(diǎn)是不會(huì)產(chǎn)生氧化副產(chǎn)物, 可以保持被清洗物的化學(xué)純凈性.
運(yùn)行結(jié)果：
通過(guò)清洗前后接觸電阻測(cè)試記錄可以看出, 清洗后不合格產(chǎn)品數(shù)大幅降低, 因此采用KRI 考夫曼 RFICP140清洗可以有效地降低繼電器的接觸電阻, 從而提高產(chǎn)品的合格率.
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