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上海某大學(xué)研究中心采用伯東 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380 輔助制備三維原子探針樣品, 主要是對(duì)三維原子探針樣品進(jìn)行蝕刻, 使樣品變薄
伯東 KRI 射頻 RFICP380 技術(shù)參數(shù):
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射頻型號(hào) |
RFICP380 |
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Discharge 陽(yáng)極 |
射頻 RFICP |
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離子束流 |
>1500 mA |
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離子動(dòng)能 |
100-1200 V |
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柵極直徑 |
30 cm Φ |
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離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
15-50 sccm |
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通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型壓力 |
< 0.5m Torr |
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長(zhǎng)度 |
39 cm |
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直徑 |
59 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
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運(yùn)行結(jié)果:
1. 采用 KRI 考夫曼射頻離子源 FRICP380可以克服鋯合金脆斷的問(wèn)題
2. 制備得到的樣品滿(mǎn)足了三維原子探針觀察樣品的要求
3. 可實(shí)現(xiàn)三維原子探針樣品的快速, 便捷, 制備
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