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KRI 考夫曼射頻離子源 RFICP140 濺射制備 MnGe 量子點

作者:伯東企業(yè)(上海)有限公司 來源:hakuto 發(fā)布時間:2023-04-27 瀏覽:14

云南某大學實驗室采用伯東 KRI 考夫曼 RFICP140離子束濺射制備尺寸均勻、高密度的 MnGe 量子點MnGe 量子點屬于半導體量子材料的領域.

 

伯東 KRI考夫曼 RFICP140 技術參數(shù):

型號

RFICP 140

Discharge

RFICP 射頻

離子束流

>600 mA

離子動能

100-1200 V

柵極直徑

14 cm Φ

離子束

聚焦平行散射

流量

5-30 sccm

通氣

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型壓力

< 0.5m Torr

長度

24.6 cm

直徑

24.6 cm

中和器

LFN 2000

 

運行結果:

KRI考夫曼 RFICP140 可控性強制備工藝簡單具有較強的商業(yè)價值.

 

伯東是德國  , , , , 美國  , 美國HVA 真空閥門美國  , 美國 Ambrell 和日本 NS 等進口品牌的指定代理商.

 

若您需要進一步的了解詳細信息或討論請參考以下聯(lián)絡方式:

上海伯東羅先生                               臺灣伯東王女士
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
                    

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