搜產(chǎn)品
搜企業(yè)
客服電話:13631151688
廣告
華北某大學實驗室采用伯東 KRI 考夫曼 RFICP140 輔助磁控濺射沉積的方法在釹鐵硼磁體表面制備了耐腐蝕性良好的鋁錳合金薄膜.
伯東 KRI 考夫曼 RFICP140 技術參數(shù):
|
型號 |
RFICP140 |
|
Discharge |
RFICP 射頻 |
|
離子束流 |
>600 mA |
|
離子動能 |
100-1200 V |
|
柵極直徑 |
14 cm Φ |
|
離子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
流量 |
5-30 sccm |
|
通氣 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型壓力 |
< 0.5m Torr |
|
長度 |
24.6 cm |
|
直徑 |
24.6 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
.jpg)
磁控濺射是物理相沉積技術中一種手段比較豐富的方法, 可以通過控制調(diào)節(jié)鍍膜參數(shù), 得到更加致密, 均勻, 結合力出色的膜層, 而且磁控濺射屬于干法鍍膜, 不存在電鍍化學鍍中的鍍液腐蝕基體和廢液污染問題, 從環(huán)境保護的角度來看, 磁控濺射較電鍍化學鍍更加綠色環(huán)保.
在釹鐵硼(NdFeB)磁體表面利用磁控濺射沉積不同錳含量的鋁錳合金薄膜. 磁控濺射制備的鋁錳合金薄膜表面光滑致密. 薄膜結構受到錳含量的影響, 當薄膜錳含量從6.80at%上升到25.78at%時, 薄膜結構由晶態(tài)逐漸轉(zhuǎn)變?yōu)榉蔷B(tài), 達到 35.67%時, 薄膜中析出金屬間化合物Al8Mn5. 鋁錳合金薄膜的耐腐蝕性能受薄膜成分變化的影響很大, 當薄膜中錳含量達到25.78% 時, 此時薄膜呈非晶態(tài)結構, 薄膜的自腐蝕電流密度達到 1.198×10-7A/cm2, 比釹鐵硼基體降低了 2 個數(shù)量級,耐腐蝕性能好.
KRI 的獨特功能實現(xiàn)了更好的性能, 增強的可靠性和新穎的材料工藝. KRI 已經(jīng)獲得了理想的薄膜和表面特性, 而這些特性在不使用 KRI 技術的情況下是無法實現(xiàn)的.
KRI 是領域公認的, 已獲得許多專利. KRI 已應用于許多已成為行業(yè)標準的過程中.
伯東是德國 , , , , 美國 , 美國, 美國 , 美國 Ambrell 和日本 NS 等進口品牌的指定代理商.
若您需要進一步的了解詳細信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯東版權所有, 翻拷必究!