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影響臭氧濃度的主要因素有
1、臭氧發(fā)生器的結構和加工精度；
2、冷卻方式和條件；
3、驅動電壓和驅動頻率；
4、介電體材料；
5、原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度。
6、發(fā)生器電源系統(tǒng)的效率（效率高，熱量轉化少。）；
臭氧是一種氧化性極強的不穩(wěn)定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一；臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。在 40~50℃ 時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。
臭氧產量是指臭氧發(fā)生器單位時間內臭氧的產出量；臭氧濃度數值與進入臭氧發(fā)生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量；通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。臭氧發(fā)生器標準中規(guī)定臭氧發(fā)生器規(guī)格型號使用臭氧產量表示和區(qū)分。小型臭氧發(fā)生器使用g/h為單位，大型臭氧發(fā)生器使用kg/h為單位區(qū)分規(guī)格的大小。