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技術(shù)參數(shù)；
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真空腔體 |
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類型 |
高溫型 室溫到400℃ |
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
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腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
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腔體內(nèi)尺寸 |
Φ88mmX59mm |
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腔體外尺寸 |
Φ112X65mm |
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腔體重量 |
約2.6KG |
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腔體上視窗尺寸 |
Φ47mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
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腔體抽氣口 |
可擴(kuò)展KF16法蘭 KF25法蘭 |
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腔體真空測量口 |
KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接） |
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腔體進(jìn)氣口 |
公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 硅膠薄膜液體注射口 氣管接頭可選 |
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腔體電接口 |
5KV高壓電極，10KV高壓電極，4芯8A氣密封信號接口，8芯4A氣密封信號接口， |
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腔體正壓 |
≤0.1MPa |
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腔體真空度 |
機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
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制冷接口 |
無 |
3mm液氮管道 |
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樣品臺 |
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樣品臺材質(zhì) |
無氧銅（可選純銀熱臺） |
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樣品臺尺寸 |
26x26mm |
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樣品臺加熱方式 |
電阻加熱 |
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樣品臺-視窗 距離 |
48mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離） |
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樣品臺測溫傳感器 |
PT100型鉑電阻 |
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樣品臺溫度 |
高溫型 室溫到400℃ |
高低溫型 室溫到400℃ 室溫到-196℃ |
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樣品臺測溫誤差 |
±0.5℃ |
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樣品臺升溫速率 |
高溫50℃/min 大值 |
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