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本實(shí)用新型涉及一種帶真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng)的探針臺(tái),包括探針臺(tái)和真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng),探針臺(tái)包括殼體和殼體蓋,殼體蓋與殼體密封配合形成測(cè)試腔,測(cè)試腔中設(shè)有測(cè)試臺(tái)和測(cè)試探針,殼體壁上設(shè)有氣體進(jìn)口和抽真空氣口。真空度調(diào)節(jié)系統(tǒng)包括與氣體氣氛管路和抽真空管路,氣體氣氛管路上設(shè)有氣體流量計(jì),抽真空管路上設(shè)有真空泵和帶步進(jìn)電機(jī)的真空蝶閥。真空蝶閥位于真空泵的上游。步進(jìn)電機(jī)連接有控制器,殼體上設(shè)有真空計(jì),真空計(jì)與控制器連接?？刂破鞑杉婵沼?jì)的數(shù)值來調(diào)節(jié)真空蝶閥的開度,以維持探針臺(tái)測(cè)試腔中設(shè)定的真空值,氣體氣氛管路上通過氣體流量計(jì)控制輸入的氣氛氣體流量,能夠向測(cè)試腔施加不同真空度及不同氣體氣氛環(huán)境,增加探針臺(tái)的使用范圍。
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