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中山市海泰真空設備有限公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術關鍵問題。
真空系統(tǒng)出廠時已經(jīng)包括了抽速控制、進氣過濾、主要運行數(shù)據(jù)顯示、運行保護及遠程控制接口等。只需要在現(xiàn)場進行簡單的連接電源和管道,即可以組成一個完整的真空系統(tǒng)。
該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由先進的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過編程后組成,以觸摸屏為人機界面,實現(xiàn)對真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設定和執(zhí)行、報警保護系統(tǒng)等的全自動化控制。
變頻螺桿真空系統(tǒng)的特點：
1、清潔環(huán)保：工作腔內(nèi)無潤滑油，為干式真空泵，有利于介質(zhì)回收，可獲得清潔真空，工作過程中無廢油、廢水排放，對環(huán)境無污染，是環(huán)保真空設備。
2、真空度高：轉子型線優(yōu)化設計，采用德國五軸聯(lián)動復合加工中心精密加工而成，單泵極限壓力≤1Pa，，高真空區(qū)抽氣量大，工作效率高，功耗低。
3、防腐可選設計：根據(jù)不同抽氣介質(zhì)，過流部件有鈦材料、不銹鋼、納米陶瓷、噴涂NIP合金等多種材質(zhì)及防腐鍍。
熱處理用真空系統(tǒng)的好處：
1、基本上無公害。
2、真空熱處理可實現(xiàn)無氧化、無脫碳、無滲碳加熱。
3、零件經(jīng)真空熱處理后，畸變小，質(zhì)量高。
4、有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
5、真空加熱爐可在較高溫度下工作。
6、某些化學熱處理，如滲碳、滲氮、滲鉻、滲硼，以及多元共滲速度較快，省時間，效率較高。