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假如速率很高的話，還能使拋光損傷層不會(huì)造成組織，不會(huì)影響終觀察到的材料組織。假如是用比較細(xì)的磨料，則可以很大程度的降低拋光時(shí)產(chǎn)生的損傷層，但是拋光的速度也會(huì)隨著降低。
