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長興小型非晶鐵芯真空退火爐 超微納米晶退火爐

作者:長興永成工業(yè)爐有限公司 來源:ycdl188 發(fā)布時間:2020-10-29 瀏覽:268


非晶退火爐:

 

本電阻爐主要結(jié)構(gòu)由爐體,爐襯,爐膽,爐蓋,電熱元件,電器控制等部分組成.爐體由型鋼與鋼板焊接而成.爐襯采用輕質(zhì)耐火磚結(jié)構(gòu)制成。


爐膽固定不動爐體移動.電熱元件采用0Cr25Ai5電阻絲,電控部分采用LPC編程控制,精細化程度高。

 

半導體芯片在經(jīng)過離子注入以后就需要退火。因為往半導體中注入雜質(zhì)離子時,高能量的入射離子會與半導體晶格上的原子碰撞,使一些晶格原子發(fā)生位移,結(jié)果造成大量的空位,將使得注入?yún)^(qū)中的原子排列混亂或者變成為非晶區(qū)。

 

所以在離子注入以后必須把半導體放在一定的溫度下進行退火,以恢復晶體的結(jié)構(gòu)和xc缺陷。同時,退火還有jh施主和受主雜質(zhì)的功能,即把有些處于間隙位置的雜質(zhì)原子通過退火而讓它們進入替代位置。長興小型非晶鐵芯真空退火爐 超微納米晶退火爐的溫度一般為200~800C,比熱擴散摻雜的溫度要低得多

 

工件在加熱的過程中,把爐體前移,爐體為加熱體,加熱完成后,爐體后移,露出爐膽,快速冷即工件。長興小型非晶鐵芯真空退火爐 超微納米晶退火爐也可以自備風機,鼓風加快冷即速度,爐膽口爐膽口有一個固定手拉式密封爐門,爐膽口做有水循環(huán)冷即,保護爐門硅膠盤根,抽真空與進氣管道分布在爐膽口位置,具體操作按用戶要求設計真空度。

鄭重聲明:資訊 【長興小型非晶鐵芯真空退火爐 超微納米晶退火爐】由 長興永成工業(yè)爐有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫www.5ix2s.cn)證實,請讀者僅作參考,并請自行核實相關內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請你提供相關證明及申請并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會盡快處理。
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