自動(dòng)拋光機(jī)操作的{zd0}拋光速率是有要求的,自動(dòng)拋光機(jī)操作的關(guān)鍵是要設(shè)法得到{zd0}的拋光速率,以便盡快除去磨光時(shí)產(chǎn)生的損傷層,同時(shí)也要使拋光損傷層不會(huì)影響最終觀察到的組織,即不會(huì)形成假組織。
在拋光機(jī)磨選材的要求中,前者要求使用較粗的磨料,以保證有較大的拋光速率來(lái)去除磨光的損傷層,但拋光損傷層也較深;后者要求使用最細(xì)的材料,使拋光損傷層較淺,但拋光速率低。
解決拋光機(jī)矛盾的方法
解決這個(gè)矛盾的{zh0}的辦法就是把拋光機(jī)分為兩個(gè)階段進(jìn)行,
1.粗拋目的是去除磨光損傷層,這一階段應(yīng)具有{zd0}的拋光速率,粗拋形成的表層損傷是次要的考慮,不過(guò)也應(yīng)當(dāng)盡可能小;
2.其次是精拋(或稱終拋),其目的是去除粗拋產(chǎn)生的表層損傷,使拋光損傷減到最小。