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神工股份:立足工藝創(chuàng)新 助力半導(dǎo)體單晶硅材料提質(zhì)增效

作者:錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司 來源:shenggonggf 發(fā)布時間:2019-06-27 瀏覽:274
神工股份:立足工藝創(chuàng)新 助力半導(dǎo)體單晶硅材料提質(zhì)增效

半導(dǎo)體單晶硅材料是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,其技術(shù)創(chuàng)新及新產(chǎn)品開發(fā)需要持續(xù)的資金和人員投入,通過不斷嘗試才可能取得成功,處于新材料發(fā)展的前沿。截至目前,半導(dǎo)體級單晶硅材料已發(fā)展成為集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中重要的基礎(chǔ)材料,為國家戰(zhàn)略部署的關(guān)鍵領(lǐng)域,同時也是國家產(chǎn)業(yè)政策支持的重要行業(yè)。而神工股份作為國內(nèi){lx1}的半導(dǎo)體級單晶硅材料供應(yīng)商,從創(chuàng)建之初便緊跟市場發(fā)展,緊握市場機遇,以先進工藝技術(shù)推動半導(dǎo)體級單晶硅產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展。

單晶硅棒生長工藝

據(jù)了解,神工股份半導(dǎo)體級硅材料的制造工藝主要為直拉法,直拉法簡稱 CZ 法。其特點是在一個封閉熱場內(nèi),通過石墨加熱器加熱,在溫度高達 1420°C 時將高純度石英坩堝中的多晶硅熔化;隨后,生產(chǎn)人員用原子均勻排列的單晶體(即籽晶)接觸熔液表面,使熔液中的硅原子按照籽晶的原子排列規(guī)則進行有序排列,同時轉(zhuǎn)動籽晶,再反轉(zhuǎn)坩堝,將籽晶緩慢向上提升,經(jīng)過引晶、放大、轉(zhuǎn)肩、等徑生長、收尾等過程,得到單晶硅棒。

目前,神工股份的半導(dǎo)體級單晶硅棒的單爐拉制時長約為 48 小時至 72 小時,而由于所拉制單晶硅棒規(guī)格、參數(shù)不同,同時拉晶過程中存在隨機因素干擾等影響,單位爐次產(chǎn)品的產(chǎn)出效率及良品率存在一定波動。

產(chǎn)品檢測工藝

為確保出廠產(chǎn)品質(zhì)量安全,神工股份在經(jīng)過長期的技術(shù)蘊蓄堆積,形成了一套獨有的產(chǎn)品監(jiān)測體系。在單晶硅棒生產(chǎn)結(jié)束后,神工股份的質(zhì)檢工作人員將對取出的單晶硅棒質(zhì)量、直徑進行測量記錄,裸眼檢測產(chǎn)品質(zhì)量。在確認產(chǎn)品初步合格后,單晶硅棒將流入物理加工環(huán)節(jié),形成檢測樣片。質(zhì)檢工作人員將通過儀器設(shè)備檢查樣片的晶體位錯情況,并針對產(chǎn)品的含氧含碳量以及對電阻率進行檢測。檢驗合格后,生產(chǎn)人員再根據(jù)客戶所需產(chǎn)品規(guī)格對產(chǎn)品進行切割、鉆孔、滾外周加工。在檢驗全部通過后,加工完成的產(chǎn)品才能流入下道工序,進行{zh1}的入庫操作。

產(chǎn)品出庫工藝控制

由于半導(dǎo)體級單晶硅材料屬于易碎品,為了能讓公司產(chǎn)品安全到達客戶,神工股份還制定了《產(chǎn)品防護管理規(guī)定》,對產(chǎn)品的標識、搬運、儲存、包裝及交付的全流程進行了制度設(shè)計,并配套制定《包裝作業(yè)指導(dǎo)書》,對包裝材料規(guī)格、包裝步驟、操作規(guī)范、注意事項進行了嚴格規(guī)定,有效降低產(chǎn)品在出庫運輸環(huán)節(jié)面臨的破損風(fēng)險。

近年來,隨著國家有關(guān)部門相繼出臺了多項產(chǎn)業(yè)扶持政策,半導(dǎo)體集成電路行業(yè)迎來了良好的發(fā)展環(huán)境。未來,神工股份將繼續(xù)依托自身的技術(shù)優(yōu)勢及豐富的半導(dǎo)體市場經(jīng)驗,增加技術(shù)研發(fā)投入,提高生產(chǎn)管理效率,并緊密圍繞“半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化”的國家戰(zhàn)略,成為中國乃至世界半導(dǎo)體硅材料領(lǐng)域的{lx1}者。更多關(guān)于神工股份以及神工半導(dǎo)體內(nèi)容請關(guān)注公司官方網(wǎng)站http://www.thinkon-/了解詳情!

小貼士:錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司(簡稱“神工股份”),是國內(nèi){lx1}的半導(dǎo)體級單晶硅材料供應(yīng)商,主營業(yè)務(wù)為半導(dǎo)體級單晶硅材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。公司核心產(chǎn)品為大尺寸高純度半導(dǎo)體級單晶硅材料,目前主要應(yīng)用于加工制成半導(dǎo)體級單晶硅部件,是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所必需的核心耗材。

鄭重聲明:資訊 【神工股份:立足工藝創(chuàng)新 助力半導(dǎo)體單晶硅材料提質(zhì)增效】由 錦州神工半導(dǎo)體股份有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫www.5ix2s.cn)證實,請讀者僅作參考,并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請你提供相關(guān)證明及申請并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線投訴】,我們審核后將會盡快處理。
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