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矽旺無氧烤箱AO-2DS FC（針對(duì)晶圓產(chǎn)品）
矽旺無氧烤箱AO-2DS FC特點(diǎn)：
無氧烤箱AO-2DS FC針對(duì)晶圓產(chǎn)品的連續(xù)烘烤，滿足測試要求和老化驗(yàn)證需求。同時(shí)采用快速風(fēng)冷設(shè)計(jì)模塊，縮短整個(gè)工藝時(shí)間。烘烤放置于12英寸和8英寸金屬料盒中的晶圓片。
AO-2DS FC無氧烤箱規(guī)格參數(shù)
·電源 AC380V，三相， 50Hz；
·內(nèi)膽尺寸 W600*D500*H610 mm (雙工作腔)
·外部尺寸 W1280xD790xH1720 mm
·功率 18Kw
注：客戶12英寸料架尺寸：W368xL310xH217mm. 2個(gè)/腔，上下各一個(gè)擺放；
客戶8英寸料架尺寸：W216xL217xH247mm. 4個(gè)/腔，上二下二擺放；
了解更多：http:///oven/ao-2ds_fc.htm
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