空氣分別通過凈化設(shè)備，初效空氣過濾器、前置模塊化學(xué)過濾器、前置中效空氣過濾器、風(fēng)機段、后置模塊化學(xué)過濾器、后置中效空氣過濾器、PTFE高效空氣過濾器，頂部百葉窗。
預(yù)處理初效空氣過濾器
預(yù)處理初效空氣過濾器用來過濾氣流中顆粒物，預(yù)處理過濾器的精度為10μm，對應(yīng)EN779等級可達(dá)G3，G4效率。
中效空氣過濾器
中效空氣過濾器，密褶型無隔板設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，氣流均勻地通過過濾器濾面，保證了最低的阻力，并充分利用了濾材的深度，達(dá)到更高的容塵量。中效過濾器的過濾精度為1~2μm，對應(yīng)EN779等級可達(dá)F7，F(xiàn)8效率。