空氣分別通過凈化設備，初效空氣過濾器、前置模塊化學過濾器、前置中效空氣過濾器、風機段、后置模塊化學過濾器、后置中效空氣過濾器、PTFE高效空氣過濾器，頂部百葉窗。
預處理初效空氣過濾器
預處理初效空氣過濾器用來過濾氣流中顆粒物，預處理過濾器的精度為10μm，對應EN779等級可達G3，G4效率。
中效空氣過濾器
中效空氣過濾器，密褶型無隔板設計，結(jié)構(gòu)緊湊，氣流均勻地通過過濾器濾面，保證了zd的阻力，并充分利用了濾材的深度，達到更高的容塵量。中效過濾器的過濾精度為1~2μm，對應EN779等級可達F7，F(xiàn)8效率。