1.1.        產(chǎn)品簡介

獲取報價請電議，或者訪問中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系，http://

激光干涉儀以光波為載體，其光波波長可以直接對米進(jìn)行定義，且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今公認(rèn)的高精度、高靈敏度的測量儀器，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

  SJ6000集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn){zg}4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?

  SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、{zg}測速下分辨率高等優(yōu)點，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

2. 產(chǎn)品功能特點

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

n  可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

n  可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

n  可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

n  可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

n  具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

n  支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

n  友好的人機(jī)界面；

n  豐富的應(yīng)用功能模塊；

n  向?qū)降牟僮髁鞒蹋?span>

n  簡潔化的記錄管理；

n  支持中文、英文和俄文界面；

第一章激光干涉儀行業(yè)概述

第一節(jié) 激光干涉儀行業(yè)定義

第二節(jié) 激光干涉儀行業(yè)市場特點分析

一、產(chǎn)品特征

二、影響需求的關(guān)鍵因素

三、主要競爭因素

第三節(jié) 激光干涉儀行業(yè)發(fā)展周期分析

第二章2023年中國激光干涉儀行業(yè)發(fā)展環(huán)境分析

第一節(jié) 2023年中國宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境分析

一、GDP歷史變動軌跡分析

二、固定資產(chǎn)投資歷史變動軌跡分析

三、2023年中國宏觀經(jīng)濟(jì)發(fā)展預(yù)測分析

第二節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)主要法律法規(guī)及政策

第三節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)社會環(huán)境發(fā)展分析

一、人口環(huán)境分析

二、教育環(huán)境分析

三、文化環(huán)境分析

四、生態(tài)環(huán)境分析

五、中國城鎮(zhèn)化率

六、居民的各種消費觀念和習(xí)慣

第三章2023年中國激光干涉儀行業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)狀分析

第一節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)產(chǎn)能概況

一、2017-2023年中國激光干涉儀行業(yè)產(chǎn)能分析

二、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)產(chǎn)能預(yù)測

第二節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)市場容量分析

一、2017-2023年中國激光干涉儀行業(yè)市場容量分析

二、產(chǎn)能配置與產(chǎn)能利用率調(diào)查

三、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場容量預(yù)測

第三節(jié) 影響激光干涉儀行業(yè)供需狀況的主要因素

一、2017-2023年中國激光干涉儀行業(yè)供需現(xiàn)狀

二、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)供需平衡趨勢預(yù)測

第四章2017-2023年中國激光干涉儀所屬行業(yè)數(shù)據(jù)監(jiān)測分析

第一節(jié) 2017-2023年中國激光干涉儀所屬行業(yè)規(guī)模分析

一、企業(yè)數(shù)量分析

二、資產(chǎn)規(guī)模分析

三、銷售規(guī)模分析

四、利潤規(guī)模分析

第二節(jié) 2017-2023年中國激光干涉儀所屬行業(yè)產(chǎn)值分析

一、產(chǎn)成品分析

二、工業(yè)銷售產(chǎn)值分析

三、出口交貨值分析

第三節(jié) 2017-2023年中國激光干涉儀所屬行業(yè)成本費用分析

一、中國激光干涉儀所屬行業(yè)銷售成本分析

二、中國激光干涉儀所屬行業(yè)銷售費用分析

三、中國激光干涉儀所屬行業(yè)管理費用分析

四、中國激光干涉儀所屬行業(yè)財務(wù)費用分析

第四節(jié) 2017-2023年中國激光干涉儀所屬行業(yè)運營效益分析

一、中國激光干涉儀所屬行業(yè)盈利能力分析

二、中國激光干涉儀所屬行業(yè)償債能力分析

三、中國激光干涉儀所屬行業(yè)運營能力分析

四、中國激光干涉儀所屬行業(yè)成長能力分析

第五章中國激光干涉儀行業(yè)渠道分析

第一節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)需求地域分布結(jié)構(gòu)

第二節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)重點區(qū)域市場消費情況分析

一、華東

二、中南

三、華北

四、西部

第三節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)經(jīng)銷模式

第四節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)渠道格局

第五節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)渠道形式

第六節(jié) 2023年中國激光干涉儀行業(yè)渠道要素對比

第六章2023年中國激光干涉儀行業(yè)競爭情況分析

第一節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

一、贏利性

二、附加值的提升空間

三、進(jìn)入壁壘／退出機(jī)制

四、行業(yè)周期

第二節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)競爭結(jié)構(gòu)分析

一、現(xiàn)有企業(yè)間競爭

二、潛在進(jìn)入者分析

三、替代品威脅分析

四、供應(yīng)商議價能力

五、客戶議價能力

第三節(jié) 2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場競爭策略展望分析

一、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場競爭趨勢分析

二、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場競爭格局展望分析

三、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場競爭策略分析

第七章中國激光干涉儀行業(yè)典型企業(yè)分析

第一節(jié) 青島前哨精密儀器有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第二節(jié) 廣東萬濠精密儀器股份有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第三節(jié) 山東力創(chuàng)科技有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第四節(jié) 萊瑪特（沈陽）精研磨拋光有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第五節(jié) 普銳科創(chuàng)科技有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第六節(jié) 哈爾濱超精密裝備工程技術(shù)中心有限公司

一、企業(yè)概況

二、企業(yè)主要經(jīng)濟(jì)指標(biāo)分析

三、企業(yè)盈利能力分析

四、企業(yè)償債能力分析

第八章2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)發(fā)展預(yù)測分析

第一節(jié) 2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)未來發(fā)展預(yù)測分析

一、2017-2023年中國激光干涉儀行業(yè)發(fā)展規(guī)模分析

二、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)發(fā)展趨勢分析

第二節(jié) 2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)供需預(yù)測分析

一、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)供給預(yù)測分析

二、2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)需求預(yù)測分析

第三節(jié) 2023-2029年中國激光干涉儀行業(yè)市場盈利預(yù)測分析

第九章中國激光干涉儀行業(yè)投資戰(zhàn)略研究

第一節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)發(fā)展關(guān)鍵要素分析

一、生產(chǎn)要素

二、需求條件

三、支援與相關(guān)產(chǎn)業(yè)

四、企業(yè)戰(zhàn)略、結(jié)構(gòu)與競爭狀態(tài)

五、政府的作用

第二節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)投資策略分析

一、中國激光干涉儀行業(yè)投資規(guī)劃

二、中國激光干涉儀行業(yè)投資策略

三、中國激光干涉儀行業(yè)成功之道

第十章中國激光干涉儀行業(yè)投資機(jī)會與風(fēng)險分析

第一節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)投資機(jī)會分析

一、投資前景

二、投資熱點

三、投資區(qū)域

四、投資吸引力分析

第二節(jié) 中國激光干涉儀行業(yè)投資風(fēng)險分析

一、市場競爭風(fēng)險

二、原材料風(fēng)險分析

三、政策/體制風(fēng)險分析

四、進(jìn)入/退出風(fēng)險分析

五、經(jīng)營管理風(fēng)險分析

第十一章激光干涉儀行業(yè)投資建議

第一節(jié) 目標(biāo)群體建議（應(yīng)用領(lǐng)域）

第二節(jié) 產(chǎn)品分類與定位建議

第三節(jié) 價格定位建議

第四節(jié) 技術(shù)應(yīng)用建議

第五節(jié) 投資區(qū)域建議

第六節(jié) 銷售渠道建議

第七節(jié) 資本并購重組運作模式建議

第八節(jié) 企業(yè)經(jīng)營管理建議

第九節(jié) 重點客戶建設(shè)建議（BY ）

激光干涉儀功能特點：

  精度高

  以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

  功能廣

  具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

  可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

  具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

  可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

  標(biāo)準(zhǔn)多

  內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB)、ISO(國際)、BS(英制)、美標(biāo)、DIN(德標(biāo))、JIS(日標(biāo))共13份?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

  便攜性

  使用方便：準(zhǔn)直激光后，輕易實現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。

  攜帶方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

  可定制

  測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

使用激光干涉儀測量，必須要考慮到的誤差源：

一、  環(huán)境誤差。激光干涉儀的絕1對精度取決于周圍條件的精準(zhǔn)程度（或者說環(huán)境的穩(wěn)定程度）。環(huán)境溫度每產(chǎn)生1℃的變化，絕1對壓力每產(chǎn)生2.5mmHg或相對濕度每產(chǎn)生30%的誤差時，都將會導(dǎo)致約1PPM（百萬分子一）的測量誤差。這些誤差利用人工補(bǔ)償或激光干涉儀所配的自動補(bǔ)償裝置可部分克服。因此檢測期間保持這些條件的穩(wěn)定非常重要。

二、  機(jī)床表面溫度。即機(jī)床本身溫度變化的影響。對于用鋼制絲杠定位滑鞍的機(jī)床，絲杠理論熱膨脹系數(shù)為10.8PPM/℃，即溫度每升高1℃，他將膨脹近10.8微米/米。

三、  死徑誤差（死行程誤差）。它是一種在測量期間與環(huán)境條件的變化有關(guān)系的誤差。它是由于當(dāng)圍繞激光束的大氣壓力發(fā)生變化（引起激光波長變化）時以及當(dāng)固定有激光干涉儀和目標(biāo)反射鏡的材料溫度發(fā)生變化（引起干涉儀和反射鏡之間的距離變化）時，激光束行程長度得不到補(bǔ)償而造成。

簡單的講，激光測量行程的死行程區(qū)是指激光干涉儀與測量復(fù)位點（或0點）位置間的距離。激光干涉儀自身的補(bǔ)償系統(tǒng)僅能補(bǔ)償測量復(fù)位點到測量行程終點的距離，而對于死行程區(qū)的距離是不補(bǔ)償?shù)摹?

四、  余弦誤差。激光束路徑對應(yīng)機(jī)床運動軸線如未對準(zhǔn)，將在測量長度同實際移動長度間產(chǎn)生一個誤差。由于這個誤差與光束和實際運動間未對準(zhǔn)角的余弦成比例，所以未對準(zhǔn)誤差通常稱為余弦誤差。余弦誤差=1-cosθ，對于較小的θ，余弦誤差近似于θ2/2。舉例來說，當(dāng) =1mrad (3 arcmin)，則余弦誤差為0.5ppm。

當(dāng)激光測量系統(tǒng)與機(jī)床移動軸線未對準(zhǔn)時，余弦誤差將使測量長度小于實際長度。消除余弦誤差的方法是在安裝時確保良好的對準(zhǔn)。

五、  阿貝誤差。阿貝誤差原理是長度計量和長度計量儀器設(shè)計中最經(jīng)典的測量原理。被測軸線和測量軸線應(yīng)在同一直線或其延伸線上，如果在一個偏離的被測位移的位置上進(jìn)行測量時，部件的任何角運動都將產(chǎn)生一個誤差。估算角運動產(chǎn)生的誤差的一條有益經(jīng)驗是：每角秒的角運動產(chǎn)生約5um/m的偏移。對于阿貝偏移為200mm，2秒的角運動，其測量位移誤差為200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。

激光干涉儀常見故障及解決方法

開機(jī)無顯示：1、是否接上電源打開開關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。

視場不完整：1、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭是否旋到位。2、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。

高度調(diào)節(jié)不明顯：檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。

干涉條紋暗：調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。

干涉條紋亂：檢查標(biāo)準(zhǔn)鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。

被測鏡片星點像找不到：調(diào)整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。

條紋亮暗閃動：調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的圓形圖像。

使用激光干涉儀測量，必須要考慮到的誤差源：

一、  環(huán)境誤差。激光干涉儀的絕1對精度取決于周圍條件的精準(zhǔn)程度（或者說環(huán)境的穩(wěn)定程度）。環(huán)境溫度每產(chǎn)生1℃的變化，絕1對壓力每產(chǎn)生2.5mmHg或相對濕度每產(chǎn)生30%的誤差時，都將會導(dǎo)致約1PPM（百萬分子一）的測量誤差。這些誤差利用人工補(bǔ)償或激光干涉儀所配的自動補(bǔ)償裝置可部分克服。因此檢測期間保持這些條件的穩(wěn)定非常重要。

二、  機(jī)床表面溫度。即機(jī)床本身溫度變化的影響。對于用鋼制絲杠定位滑鞍的機(jī)床，絲杠理論熱膨脹系數(shù)為10.8PPM/℃，即溫度每升高1℃，他將膨脹近10.8微米/米。

三、  死徑誤差（死行程誤差）。它是一種在測量期間與環(huán)境條件的變化有關(guān)系的誤差。它是由于當(dāng)圍繞激光束的大氣壓力發(fā)生變化（引起激光波長變化）時以及當(dāng)固定有激光干涉儀和目標(biāo)反射鏡的材料溫度發(fā)生變化（引起干涉儀和反射鏡之間的距離變化）時，激光束行程長度得不到補(bǔ)償而造成。

簡單的講，激光測量行程的死行程區(qū)是指激光干涉儀與測量復(fù)位點（或0點）位置間的距離。激光干涉儀自身的補(bǔ)償系統(tǒng)僅能補(bǔ)償測量復(fù)位點到測量行程終點的距離，而對于死行程區(qū)的距離是不補(bǔ)償?shù)摹?

四、  余弦誤差。激光束路徑對應(yīng)機(jī)床運動軸線如未對準(zhǔn)，將在測量長度同實際移動長度間產(chǎn)生一個誤差。由于這個誤差與光束和實際運動間未對準(zhǔn)角的余弦成比例，所以未對準(zhǔn)誤差通常稱為余弦誤差。余弦誤差=1-cosθ，對于較小的θ，余弦誤差近似于θ2/2。舉例來說，當(dāng) =1mrad (3 arcmin)，則余弦誤差為0.5ppm。

當(dāng)激光測量系統(tǒng)與機(jī)床移動軸線未對準(zhǔn)時，余弦誤差將使測量長度小于實際長度。消除余弦誤差的方法是在安裝時確保良好的對準(zhǔn)。

五、  阿貝誤差。阿貝誤差原理是長度計量和長度計量儀器設(shè)計中最經(jīng)典的測量原理。被測軸線和測量軸線應(yīng)在同一直線或其延伸線上，如果在一個偏離的被測位移的位置上進(jìn)行測量時，部件的任何角運動都將產(chǎn)生一個誤差。估算角運動產(chǎn)生的誤差的一條有益經(jīng)驗是：每角秒的角運動產(chǎn)生約5um/m的偏移。對于阿貝偏移為200mm，2秒的角運動，其測量位移誤差為200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。

激光干涉儀的用途

激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在動態(tài)測量軟件的配合下，激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析。

使用環(huán)境

因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化，溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求：

1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。

2、遠(yuǎn)離振動源，以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)最終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)準(zhǔn)確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：

1.激光器頻率（波長）及頻率穩(wěn)定性；

2.測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐棱角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

如何正確運用激光干涉儀

1、負(fù)坡度

  負(fù)坡度曲線向外運行和向內(nèi)運行兩個測試均出現(xiàn)向下的坡度。在整個軸線長度上，誤差呈線性負(fù)增加，這表示激光系統(tǒng)測量的距離短于機(jī)床位置反饋系統(tǒng)指示的距離。出現(xiàn)負(fù)坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準(zhǔn)直調(diào)整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個軸線長度上，誤差呈線性正遞增。這種現(xiàn)象的產(chǎn)生有以下可能：(1)材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個軸線長度上的重復(fù)周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導(dǎo)致周期性曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如絲杠或傳動系統(tǒng)故障、編碼器問題或故障、長型門式機(jī)床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測試之間具有不變的垂直偏移。產(chǎn)生偏移曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如反向間隙未補(bǔ)償或不當(dāng)補(bǔ)償、車架與導(dǎo)軌之間存在間隙(松動)等。

5、燕尾狀

  在去程測試中出現(xiàn)向下的坡度的情況，回程測試為去程測試的鏡像，去程和回程測試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅(qū)動端而逐漸提高。產(chǎn)生燕尾狀的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉(zhuǎn)、導(dǎo)軌太緊、使用的誤差補(bǔ)償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運行產(chǎn)生負(fù)坡度，而反向(向內(nèi))運行則產(chǎn)生正坡度。這是絲杠扭轉(zhuǎn)的一個特殊例子，其中，單向線性誤差補(bǔ)償和單反向值已在控制器中設(shè)置。

激光干涉儀在振動計量中的應(yīng)用

激光測振及其常用方法

  一般振動測試大致可以分為兩類。一類是測量設(shè)備和結(jié)構(gòu)所存在的振動；另一類則是對設(shè)備或結(jié)構(gòu)施加某種激勵，對其產(chǎn)生的振動進(jìn)行測量。此類測振的目的是研究設(shè)備或結(jié)構(gòu)的力學(xué)動態(tài)特性，然后根據(jù)對所測得的振動信號進(jìn)行求和、平均、積分、微分等處理，計算出被測點的位移或速度、加速度和振動頻率；或者對所測得的振動信號在時域、頻域內(nèi)作進(jìn)一步地分析和處理，如譜分析、相關(guān)分析等，進(jìn)而確定被測對象的固有頻率、阻尼比、剛度、振型等振動參數(shù)，確定被測對象的頻率響應(yīng)特性。激光測量這種非接觸測量由于其良好的精準(zhǔn)性和實時性，已經(jīng)成為測量領(lǐng)域的熱點。同時由于電子學(xué)和光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，光電檢測已經(jīng)成為非接觸測量的一種主要方式。

激光干涉法

  利用激光的干涉特性，以激光的波長等參數(shù)為基礎(chǔ)，對元件的振動進(jìn)行測量的方法叫激光干涉測振法。在振動沖擊計量測試中，我們經(jīng)常碰到量值溯源的問題，在量值溯源與傳遞系統(tǒng)鏈表里，振動沖擊計量基準(zhǔn)可以溯源到基本量———長度和時間。振動和沖擊校準(zhǔn)設(shè)備采用這種量值復(fù)現(xiàn)方式進(jìn)行傳感器的校準(zhǔn)時，稱其為“絕1對校準(zhǔn)”。激光干涉儀是不可缺少的部分，其輸出的多普勒信號把已知的激光波長和振動的位移量對應(yīng)起來，是一種絕1對的測量方法。目前在振動和沖擊專業(yè)中大量借助于激光干涉技術(shù)實現(xiàn)量值的復(fù)現(xiàn)，其具體實現(xiàn)就是采用激光干涉儀。

     激光干涉測量方法作為一種重要的非接觸式無損探測方法，日益得到廣泛的應(yīng)用。然而該測量系統(tǒng)多采用各種分立的玻璃光學(xué)元件構(gòu)成光路，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且對光學(xué)元件的安裝、調(diào)試都有極苛刻的機(jī)械精度要求，靈活性、重復(fù)性較差，尤其是對探測系統(tǒng)位置的設(shè)置在許多重要場合的應(yīng)用受到了限制。光纖傳感技術(shù)是近幾十年來迅速發(fā)展起來的一門新型科學(xué)。與傳統(tǒng)的各類傳感器相比，光纖傳感器具有一系列獨特的優(yōu)點，靈敏度高、抗電磁干擾、耐腐蝕、耐高壓、防爆阻燃、光路可繞曲性好、幾何形狀具有多方面適應(yīng)性等，使其成為在諸多環(huán)境下的有效測量手段。

激光干涉儀的使用方法：

1、開機(jī)：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測。（因為剛開機(jī)激光器不穩(wěn)定）

2、光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點對準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。

 顯示器圓形圖像

3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標(biāo)尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標(biāo)尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。

激光干涉儀在振動計量中的應(yīng)用

激光測振及其常用方法

  一般振動測試大致可以分為兩類。一類是測量設(shè)備和結(jié)構(gòu)所存在的振動；另一類則是對設(shè)備或結(jié)構(gòu)施加某種激勵，對其產(chǎn)生的振動進(jìn)行測量。此類測振的目的是研究設(shè)備或結(jié)構(gòu)的力學(xué)動態(tài)特性，然后根據(jù)對所測得的振動信號進(jìn)行求和、平均、積分、微分等處理，計算出被測點的位移或速度、加速度和振動頻率；或者對所測得的振動信號在時域、頻域內(nèi)作進(jìn)一步地分析和處理，如譜分析、相關(guān)分析等，進(jìn)而確定被測對象的固有頻率、阻尼比、剛度、振型等振動參數(shù)，確定被測對象的頻率響應(yīng)特性。激光測量這種非接觸測量由于其良好的精準(zhǔn)性和實時性，已經(jīng)成為測量領(lǐng)域的熱點。同時由于電子學(xué)和光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，光電檢測已經(jīng)成為非接觸測量的一種主要方式。

激光干涉法

  利用激光的干涉特性，以激光的波長等參數(shù)為基礎(chǔ)，對元件的振動進(jìn)行測量的方法叫激光干涉測振法。在振動沖擊計量測試中，我們經(jīng)常碰到量值溯源的問題，在量值溯源與傳遞系統(tǒng)鏈表里，振動沖擊計量基準(zhǔn)可以溯源到基本量———長度和時間。振動和沖擊校準(zhǔn)設(shè)備采用這種量值復(fù)現(xiàn)方式進(jìn)行傳感器的校準(zhǔn)時，稱其為“絕1對校準(zhǔn)”。激光干涉儀是不可缺少的部分，其輸出的多普勒信號把已知的激光波長和振動的位移量對應(yīng)起來，是一種絕1對的測量方法。目前在振動和沖擊專業(yè)中大量借助于激光干涉技術(shù)實現(xiàn)量值的復(fù)現(xiàn)，其具體實現(xiàn)就是采用激光干涉儀。

     激光干涉測量方法作為一種重要的非接觸式無損探測方法，日益得到廣泛的應(yīng)用。然而該測量系統(tǒng)多采用各種分立的玻璃光學(xué)元件構(gòu)成光路，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且對光學(xué)元件的安裝、調(diào)試都有極苛刻的機(jī)械精度要求，靈活性、重復(fù)性較差，尤其是對探測系統(tǒng)位置的設(shè)置在許多重要場合的應(yīng)用受到了限制。光纖傳感技術(shù)是近幾十年來迅速發(fā)展起來的一門新型科學(xué)。與傳統(tǒng)的各類傳感器相比，光纖傳感器具有一系列獨特的優(yōu)點，靈敏度高、抗電磁干擾、耐腐蝕、耐高壓、防爆阻燃、光路可繞曲性好、幾何形狀具有多方面適應(yīng)性等，使其成為在諸多環(huán)境下的有效測量手段。

使用激光干涉儀測量，必須要考慮到的誤差源：

一、  環(huán)境誤差。激光干涉儀的絕1對精度取決于周圍條件的精準(zhǔn)程度（或者說環(huán)境的穩(wěn)定程度）。環(huán)境溫度每產(chǎn)生1℃的變化，絕1對壓力每產(chǎn)生2.5mmHg或相對濕度每產(chǎn)生30%的誤差時，都將會導(dǎo)致約1PPM（百萬分子一）的測量誤差。這些誤差利用人工補(bǔ)償或激光干涉儀所配的自動補(bǔ)償裝置可部分克服。因此檢測期間保持這些條件的穩(wěn)定非常重要。

二、  機(jī)床表面溫度。即機(jī)床本身溫度變化的影響。對于用鋼制絲杠定位滑鞍的機(jī)床，絲杠理論熱膨脹系數(shù)為10.8PPM/℃，即溫度每升高1℃，他將膨脹近10.8微米/米。

三、  死徑誤差（死行程誤差）。它是一種在測量期間與環(huán)境條件的變化有關(guān)系的誤差。它是由于當(dāng)圍繞激光束的大氣壓力發(fā)生變化（引起激光波長變化）時以及當(dāng)固定有激光干涉儀和目標(biāo)反射鏡的材料溫度發(fā)生變化（引起干涉儀和反射鏡之間的距離變化）時，激光束行程長度得不到補(bǔ)償而造成。

簡單的講，激光測量行程的死行程區(qū)是指激光干涉儀與測量復(fù)位點（或0點）位置間的距離。激光干涉儀自身的補(bǔ)償系統(tǒng)僅能補(bǔ)償測量復(fù)位點到測量行程終點的距離，而對于死行程區(qū)的距離是不補(bǔ)償?shù)摹?

四、  余弦誤差。激光束路徑對應(yīng)機(jī)床運動軸線如未對準(zhǔn)，將在測量長度同實際移動長度間產(chǎn)生一個誤差。由于這個誤差與光束和實際運動間未對準(zhǔn)角的余弦成比例，所以未對準(zhǔn)誤差通常稱為余弦誤差。余弦誤差=1-cosθ，對于較小的θ，余弦誤差近似于θ2/2。舉例來說，當(dāng) =1mrad (3 arcmin)，則余弦誤差為0.5ppm。

當(dāng)激光測量系統(tǒng)與機(jī)床移動軸線未對準(zhǔn)時，余弦誤差將使測量長度小于實際長度。消除余弦誤差的方法是在安裝時確保良好的對準(zhǔn)。

五、  阿貝誤差。阿貝誤差原理是長度計量和長度計量儀器設(shè)計中最經(jīng)典的測量原理。被測軸線和測量軸線應(yīng)在同一直線或其延伸線上，如果在一個偏離的被測位移的位置上進(jìn)行測量時，部件的任何角運動都將產(chǎn)生一個誤差。估算角運動產(chǎn)生的誤差的一條有益經(jīng)驗是：每角秒的角運動產(chǎn)生約5um/m的偏移。對于阿貝偏移為200mm，2秒的角運動，其測量位移誤差為200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。

如何正確運用激光干涉儀

1、負(fù)坡度

  負(fù)坡度曲線向外運行和向內(nèi)運行兩個測試均出現(xiàn)向下的坡度。在整個軸線長度上，誤差呈線性負(fù)增加，這表示激光系統(tǒng)測量的距離短于機(jī)床位置反饋系統(tǒng)指示的距離。出現(xiàn)負(fù)坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準(zhǔn)直調(diào)整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個軸線長度上，誤差呈線性正遞增。這種現(xiàn)象的產(chǎn)生有以下可能：(1)材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個軸線長度上的重復(fù)周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導(dǎo)致周期性曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如絲杠或傳動系統(tǒng)故障、編碼器問題或故障、長型門式機(jī)床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測試之間具有不變的垂直偏移。產(chǎn)生偏移曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如反向間隙未補(bǔ)償或不當(dāng)補(bǔ)償、車架與導(dǎo)軌之間存在間隙(松動)等。

5、燕尾狀

  在去程測試中出現(xiàn)向下的坡度的情況，回程測試為去程測試的鏡像，去程和回程測試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅(qū)動端而逐漸提高。產(chǎn)生燕尾狀的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉(zhuǎn)、導(dǎo)軌太緊、使用的誤差補(bǔ)償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運行產(chǎn)生負(fù)坡度，而反向(向內(nèi))運行則產(chǎn)生正坡度。這是絲杠扭轉(zhuǎn)的一個特殊例子，其中，單向線性誤差補(bǔ)償和單反向值已在控制器中設(shè)置。

如何正確運用激光干涉儀

1、負(fù)坡度

  負(fù)坡度曲線向外運行和向內(nèi)運行兩個測試均出現(xiàn)向下的坡度。在整個軸線長度上，誤差呈線性負(fù)增加，這表示激光系統(tǒng)測量的距離短于機(jī)床位置反饋系統(tǒng)指示的距離。出現(xiàn)負(fù)坡度的可能原因有以下兩種：(1)光束準(zhǔn)直調(diào)整不正確。如果軸線短于1m則可能是材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床線性誤差。

2、正坡度

  正坡度曲線是指在整個軸線長度上，誤差呈線性正遞增。這種現(xiàn)象的產(chǎn)生有以下可能：(1)材料熱膨脹補(bǔ)償系數(shù)不正確、材料溫度測量不正確或者波長補(bǔ)償不正確。(2)俯仰和扭擺造成阿貝偏置誤差、機(jī)床的線性誤差。

3、周期性曲線

  周期性曲線是整個軸線長度上的重復(fù)周期誤差。沿軸的俯仰保持不變，但幅度可能變化。導(dǎo)致周期性曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如絲杠或傳動系統(tǒng)故障、編碼器問題或故障、長型門式機(jī)床軌道的軸線直線度。

4、偏移

  偏移是指去程和回程兩次測試之間具有不變的垂直偏移。產(chǎn)生偏移曲線的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如反向間隙未補(bǔ)償或不當(dāng)補(bǔ)償、車架與導(dǎo)軌之間存在間隙(松動)等。

5、燕尾狀

  在去程測試中出現(xiàn)向下的坡度的情況，回程測試為去程測試的鏡像，去程和回程測試之間的偏差(或滯后或反向間隙)隨軸線離開受驅(qū)動端而逐漸提高。產(chǎn)生燕尾狀的可能原因主要是機(jī)床方面的問題，如滾珠絲杠扭轉(zhuǎn)、導(dǎo)軌太緊、使用的誤差補(bǔ)償值不正確等。

6、正反向交叉線

  正反向交叉線是指正向(向外)運行產(chǎn)生負(fù)坡度，而反向(向內(nèi))運行則產(chǎn)生正坡度。這是絲杠扭轉(zhuǎn)的一個特殊例子，其中，單向線性誤差補(bǔ)償和單反向值已在控制器中設(shè)置。

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)最終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)準(zhǔn)確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：

1.激光器頻率（波長）及頻率穩(wěn)定性；

2.測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐棱角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀常見故障及解決方法

開機(jī)無顯示：1、是否接上電源打開開關(guān)。2、顯示器是否切換到BNC模式。

視場不完整：1、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭是否旋到位。2、標(biāo)準(zhǔn)鏡頭星點是否與尋星窗口中間的黑點重合。

高度調(diào)節(jié)不明顯：檢查高度調(diào)節(jié)旋鈕是否鎖緊。

干涉條紋暗：調(diào)節(jié)干涉儀上的亮度調(diào)節(jié)旋鈕。

干涉條紋亂：檢查標(biāo)準(zhǔn)鏡頭與被測透鏡表面是否干凈。

被測鏡片星點像找不到：調(diào)整鏡片的中心，看鏡片是否放置的傾斜。

條紋亮暗閃動：調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的圓形圖像。

激光干涉儀的測量精度與哪些因素有關(guān)？

激光干涉儀在實際使用中，需要確認(rèn)其在各個測量應(yīng)用中能夠達(dá)到的真實精度水平以確保測量數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。激光干涉儀的測量讀數(shù)最終均與激光波長有關(guān)，因此激光器頻率的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是激光干涉儀測量精度的保障。此外，激光干涉儀的環(huán)境條件補(bǔ)償系統(tǒng)（壓力、溫濕度傳感器）的讀數(shù)準(zhǔn)確性對最終的測量精度有著重要的影響。

總結(jié)起來，影響激光干涉儀測量精度的因素包括：

1.激光器頻率（波長）及頻率穩(wěn)定性；

2.測量讀數(shù)軟件系統(tǒng)帶來的誤差；

3.反射鏡、角錐棱角誤差；

4.溫濕度、壓力傳感器誤差；

當(dāng)然，在具體測量任務(wù)中的測量精度還與測量人員、現(xiàn)場環(huán)境條件等因素有關(guān)。

激光干涉儀的使用方法：

1、開機(jī)：接通電源打開電源開關(guān)，1分鐘后開始檢測。（因為剛開機(jī)激光器不穩(wěn)定）

2、光路調(diào)整：旋上適合的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭使標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點對準(zhǔn)尋星窗口中間的黑點，顯示器上顯示完整的圓形圖像。

 顯示器圓形圖像

3、透鏡面形檢測：調(diào)節(jié)沉座到被檢透鏡的適合尺寸，（建議大批量固定透鏡的檢測，自己加工固定的沉座）放上透鏡調(diào)節(jié)高度和透鏡調(diào)節(jié)鈕使透鏡的星點與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的星點重合，觀測顯示器是否出現(xiàn)干涉條紋，條紋越少精度越高。干涉圖像與對準(zhǔn)系統(tǒng)同步，無需切換，任何人都能簡單操作。高度調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)選擇加長的測試軌道來配合測量尺寸，可簡便的測量出曲率半徑。

4、透鏡曲率半徑檢測：開啟標(biāo)尺電源開關(guān)（清零），調(diào)整圖像到看清直線干涉條紋(3條到5條），凸透鏡向上調(diào)節(jié)高度（凹透鏡向下調(diào)節(jié)高度）到第2個星點出現(xiàn)的時候調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)鏡頭調(diào)節(jié)旋鈕，使圖像出現(xiàn)貓眼像，標(biāo)尺移動的數(shù)值就為被測透鏡的曲率半徑。

使用激光干涉儀測量，必須要考慮到的誤差源：

一、  環(huán)境誤差。激光干涉儀的絕1對精度取決于周圍條件的精準(zhǔn)程度（或者說環(huán)境的穩(wěn)定程度）。環(huán)境溫度每產(chǎn)生1℃的變化，絕1對壓力每產(chǎn)生2.5mmHg或相對濕度每產(chǎn)生30%的誤差時，都將會導(dǎo)致約1PPM（百萬分子一）的測量誤差。這些誤差利用人工補(bǔ)償或激光干涉儀所配的自動補(bǔ)償裝置可部分克服。因此檢測期間保持這些條件的穩(wěn)定非常重要。

二、  機(jī)床表面溫度。即機(jī)床本身溫度變化的影響。對于用鋼制絲杠定位滑鞍的機(jī)床，絲杠理論熱膨脹系數(shù)為10.8PPM/℃，即溫度每升高1℃，他將膨脹近10.8微米/米。

三、  死徑誤差（死行程誤差）。它是一種在測量期間與環(huán)境條件的變化有關(guān)系的誤差。它是由于當(dāng)圍繞激光束的大氣壓力發(fā)生變化（引起激光波長變化）時以及當(dāng)固定有激光干涉儀和目標(biāo)反射鏡的材料溫度發(fā)生變化（引起干涉儀和反射鏡之間的距離變化）時，激光束行程長度得不到補(bǔ)償而造成。

簡單的講，激光測量行程的死行程區(qū)是指激光干涉儀與測量復(fù)位點（或0點）位置間的距離。激光干涉儀自身的補(bǔ)償系統(tǒng)僅能補(bǔ)償測量復(fù)位點到測量行程終點的距離，而對于死行程區(qū)的距離是不補(bǔ)償?shù)摹?

四、  余弦誤差。激光束路徑對應(yīng)機(jī)床運動軸線如未對準(zhǔn)，將在測量長度同實際移動長度間產(chǎn)生一個誤差。由于這個誤差與光束和實際運動間未對準(zhǔn)角的余弦成比例，所以未對準(zhǔn)誤差通常稱為余弦誤差。余弦誤差=1-cosθ，對于較小的θ，余弦誤差近似于θ2/2。舉例來說，當(dāng) =1mrad (3 arcmin)，則余弦誤差為0.5ppm。

當(dāng)激光測量系統(tǒng)與機(jī)床移動軸線未對準(zhǔn)時，余弦誤差將使測量長度小于實際長度。消除余弦誤差的方法是在安裝時確保良好的對準(zhǔn)。

五、  阿貝誤差。阿貝誤差原理是長度計量和長度計量儀器設(shè)計中最經(jīng)典的測量原理。被測軸線和測量軸線應(yīng)在同一直線或其延伸線上，如果在一個偏離的被測位移的位置上進(jìn)行測量時，部件的任何角運動都將產(chǎn)生一個誤差。估算角運動產(chǎn)生的誤差的一條有益經(jīng)驗是：每角秒的角運動產(chǎn)生約5um/m的偏移。對于阿貝偏移為200mm，2秒的角運動，其測量位移誤差為200mm×5um/m/角秒×2角秒=2um。

激光干涉儀在振動計量中的應(yīng)用

激光測振及其常用方法

  一般振動測試大致可以分為兩類。一類是測量設(shè)備和結(jié)構(gòu)所存在的振動；另一類則是對設(shè)備或結(jié)構(gòu)施加某種激勵，對其產(chǎn)生的振動進(jìn)行測量。此類測振的目的是研究設(shè)備或結(jié)構(gòu)的力學(xué)動態(tài)特性，然后根據(jù)對所測得的振動信號進(jìn)行求和、平均、積分、微分等處理，計算出被測點的位移或速度、加速度和振動頻率；或者對所測得的振動信號在時域、頻域內(nèi)作進(jìn)一步地分析和處理，如譜分析、相關(guān)分析等，進(jìn)而確定被測對象的固有頻率、阻尼比、剛度、振型等振動參數(shù)，確定被測對象的頻率響應(yīng)特性。激光測量這種非接觸測量由于其良好的精準(zhǔn)性和實時性，已經(jīng)成為測量領(lǐng)域的熱點。同時由于電子學(xué)和光學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，光電檢測已經(jīng)成為非接觸測量的一種主要方式。

激光干涉法

  利用激光的干涉特性，以激光的波長等參數(shù)為基礎(chǔ)，對元件的振動進(jìn)行測量的方法叫激光干涉測振法。在振動沖擊計量測試中，我們經(jīng)常碰到量值溯源的問題，在量值溯源與傳遞系統(tǒng)鏈表里，振動沖擊計量基準(zhǔn)可以溯源到基本量———長度和時間。振動和沖擊校準(zhǔn)設(shè)備采用這種量值復(fù)現(xiàn)方式進(jìn)行傳感器的校準(zhǔn)時，稱其為“絕1對校準(zhǔn)”。激光干涉儀是不可缺少的部分，其輸出的多普勒信號把已知的激光波長和振動的位移量對應(yīng)起來，是一種絕1對的測量方法。目前在振動和沖擊專業(yè)中大量借助于激光干涉技術(shù)實現(xiàn)量值的復(fù)現(xiàn)，其具體實現(xiàn)就是采用激光干涉儀。

     激光干涉測量方法作為一種重要的非接觸式無損探測方法，日益得到廣泛的應(yīng)用。然而該測量系統(tǒng)多采用各種分立的玻璃光學(xué)元件構(gòu)成光路，不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且對光學(xué)元件的安裝、調(diào)試都有極苛刻的機(jī)械精度要求，靈活性、重復(fù)性較差，尤其是對探測系統(tǒng)位置的設(shè)置在許多重要場合的應(yīng)用受到了限制。光纖傳感技術(shù)是近幾十年來迅速發(fā)展起來的一門新型科學(xué)。與傳統(tǒng)的各類傳感器相比，光纖傳感器具有一系列獨特的優(yōu)點，靈敏度高、抗電磁干擾、耐腐蝕、耐高壓、防爆阻燃、光路可繞曲性好、幾何形狀具有多方面適應(yīng)性等，使其成為在諸多環(huán)境下的有效測量手段。

激光干涉儀功能特點：

  精度高

  以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

  功能廣

  具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

  可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

  具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線)及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測量與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

  可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

  標(biāo)準(zhǔn)多

  內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB)、ISO(國際)、BS(英制)、美標(biāo)、DIN(德標(biāo))、JIS(日標(biāo))共13份?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

  便攜性

  使用方便：準(zhǔn)直激光后，輕易實現(xiàn)設(shè)備線性定位、重復(fù)定位精度、反向間隙、角度、直線度的測量。

  攜帶方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

  可定制

  測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

激光干涉儀的用途

激光干涉儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

在動態(tài)測量軟件的配合下，激光干涉儀可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析。

使用環(huán)境

因為光學(xué)玻璃受熱變形將產(chǎn)生光學(xué)表面光圈的變化，溫度不穩(wěn)定將直接影響測量精度的可靠性，所以激光干涉儀的使用對環(huán)境也有一定的要求：

1、溫度要求在20℃左右，濕度不大于60%。

2、遠(yuǎn)離振動源，以免條紋產(chǎn)生抖動影響測量精度的判斷。

產(chǎn)品名稱：激光干涉儀

產(chǎn)品說明：

新型XL-80激光干涉儀系統(tǒng)在便攜性、系統(tǒng)精度及動態(tài)測量機(jī)性能方面獲得提高。其使用更快捷、方便，并且保留了純粹干涉儀測量系統(tǒng)的優(yōu)點---雷尼紹激光干涉儀正式憑借這一成熟技術(shù)，成為全球用戶的系統(tǒng)。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品亮點：

便攜性和易用性

XL-80激光干涉儀和XC-80補(bǔ)償器體積小巧，這意味著一套完整的線性測量系統(tǒng)只需裝在一個“便攜箱”中，重量僅為12公斤。再加上一個三腳架（裝在尼龍拉鏈攜帶箱中），您就擁有了一個真正便攜的機(jī)器測量方案。激光干涉儀和補(bǔ)償器均可通過USB與計算機(jī)連接，因此無需單獨的接口，也不必?fù)?dān)心復(fù)雜的設(shè)定。

精度和動態(tài)性能

精確穩(wěn)定的激光源和準(zhǔn)確的，保證了±0.5 ppm的線性測量精度?？梢愿哌_(dá)50 kHZ頻率讀取數(shù)據(jù)，高線性測量速度可達(dá)4 m/s，即使在高速度下線性分辨率仍可達(dá)1 nm。所有測量選項（不只是線性）均采用干涉法測量，使您對記錄數(shù)據(jù)的精度有信心。

使用方便

XL-80設(shè)定和使用快速簡便，可減少等待時間并增加測量時間，同時仍具有純粹干涉測量系統(tǒng)精度高的優(yōu)點。

信心

優(yōu)質(zhì)的設(shè)計、制造和技術(shù)支持是雷尼紹的標(biāo)志性特征。不管是微米級測量還是納米級測量，先進(jìn)的設(shè)施和質(zhì)量保證都為重要。標(biāo)準(zhǔn)的三年保修期和全球支持網(wǎng)絡(luò)體現(xiàn)了我們對您的承諾。

雷尼紹XM-60多光束激光干涉儀是一款激光測量系統(tǒng)，只需一次設(shè)定即可沿線性軸同時測量6個自由度的誤差。它具有強(qiáng)大的診斷工具，通過一次采集就可以測量軸的所有幾何誤差。對于執(zhí)行空間補(bǔ)償?shù)挠脩簦?/span>XM-60為他們獲得所需數(shù)據(jù)組提供了一種快速精準(zhǔn)的方法。所有測量均為光學(xué)測量，可在任意方向執(zhí)行。

主要特性與優(yōu)點：

快速 — 利用傳統(tǒng)激光技術(shù)，一次安裝即可同時測量線性、俯仰、扭擺、滾擺、水平方向和垂直方向直線度等六項誤差。

簡單 — 設(shè)定簡單，其他干涉儀系統(tǒng)使用者很快就能熟練使用。自動檢測軸的正負(fù)方向和圖形準(zhǔn)直減少了人為誤差。

可靠 — 直接測量所有誤差，允許用戶在測試過程中查看結(jié)果。

強(qiáng)大 — 獨特的光學(xué)滾擺測量系統(tǒng)能夠在任一方向執(zhí)行滾擺測量。

更多技術(shù)內(nèi)容及應(yīng)用請咨 詢北京高控科技有限公司銷售工程師 程健186-1288-5992 （微信）

雷尼紹XL-80激光干涉儀為坐標(biāo)測量機(jī) (CMM) 和機(jī)床等運動系統(tǒng)提供高性能測量和校準(zhǔn)。

特性與優(yōu)點

激光穩(wěn)頻精度

線性測量精度

儀器內(nèi)置USB

激光頭前部的一排LED狀態(tài)指示燈顯示激光狀態(tài)和信號強(qiáng)度

可以在標(biāo)準(zhǔn) (40 m) 和長 (80 m) 距離模式之間切換。

模擬I/O端口

預(yù)熱時間少于6分鐘。

外接開關(guān)電源允許輸入電壓在90 V - 264 V之間變化。

CARTO軟件可以進(jìn)行線性、角度、回轉(zhuǎn)軸、直線度和垂直度測量。其他測量模式則需要使用LaserXL。

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1.   簡介

1.1. 產(chǎn)品簡介

中圖儀器官方網(wǎng)址：http://

http://.是以光波為載體，以光波波長為單位的高精度、高靈敏度檢測設(shè)備，在高端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀采用美國進(jìn)口高穩(wěn)定氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，實現(xiàn)快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，結(jié)合線性鏡組能實現(xiàn)0.5ppm精度的線性測量；結(jié)合相應(yīng)鏡組還能實現(xiàn)角度、直線度（平行度）、平面度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的測量，并進(jìn)行動態(tài)解析。

SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、測量范圍大、分辨力高等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實現(xiàn)對線性、角度、平面度、直線度（平行度）、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等參數(shù)的精密測量，并能對設(shè)備進(jìn)行速度、加速度、頻率-振幅、時間-位移等動態(tài)性能解析。

在相關(guān)系統(tǒng)的配合下，可自動生成誤差補(bǔ)償方案，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)。

2.  功能特點

2.1. 產(chǎn)品功能特點

測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨力可達(dá)納米級；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決了溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，保證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱變形，保證干涉光路穩(wěn)定。

具有實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量的檢測功能?？梢詸z測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備運動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并可以校準(zhǔn)機(jī)床的回轉(zhuǎn)軸。

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為機(jī)床誤差修正的提供依據(jù)。

具有動態(tài)測量(位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線) 及測量振幅和頻率解析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測量與解析，滾珠絲桿的動態(tài)特性解析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性解析等。

內(nèi)置國內(nèi)外通用的標(biāo)準(zhǔn)，含國標(biāo)(GB) 、ISO(國際) 、BS(英制) 、美標(biāo)、DIN(德標(biāo)) 、JIS(日標(biāo))共10份 ?？梢罁?jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)解析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)。可選擇手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel文檔。

安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。